Occasion KLA / TENCOR FT-600 #9376730 à vendre en France

KLA/TENCOR FT-600 est un équipement d'essai et de métrologie entièrement automatisé conçu pour offrir une fiabilité et une précision optimales dans la mesure des dispositifs semi-conducteurs avancés. En utilisant les technologies avancées d'imagerie et de revêtement haute résolution, KLA FT-600 fournit des performances exceptionnelles pour une grande variété d'objectifs de métrologie. Le système comprend deux composantes principales : le sous-système intégré (IS), qui effectue la métrologie et les mesures électriques et optiques, et le sous-système de revêtement automatisé (ACS), qui fournit les capacités de revêtement avancées requises pour les essais et la métrologie. Le module IS comprend un module d'imagerie de résolution de 40nm qui produit des images haute résolution de plaquettes jusqu'à 300mm de taille. Des algorithmes avancés sont utilisés pour analyser ces images afin de mesurer des paramètres critiques tels que le profil dimensionnel vertical, la rugosité de surface et la taille et la quantité des défauts. L'unité comprend également un sous-module électrique et optique, qui peut mesurer des paramètres électriques tels que la résistance de contact ohmique, les profils de paramètres de diode et de MOSFET, la transconductance et d'autres valeurs de paramètres du dispositif. Ce sous-module comprend également une machine de mesure de réponse spectrale pour mesurer les caractéristiques optiques, telles que la réflectance spectrale et la transmittance. L'ACS comprend une unité de revêtement motorisée à lévitation magnétique avancée qui enrobe des échantillons jusqu'à 300mm. Cette unité de revêtement fournit un revêtement lisse, pair, de haute précision de matériaux tels que des photorésistants et d'autres revêtements conformes et il est entièrement compatible avec une variété de photolithographie et d'autres procédés chimiques humides. L'unité est également équipée d'un outil intégré de contrôle de l'environnement et du vide pour garantir une performance optimale du revêtement. En outre, TENCOR FT-600 comprend une suite logicielle avancée pour l'intégration de tous les composants d'actifs. Cette suite logicielle fournit l'automatisation des processus, l'optimisation des rendements, l'acquisition et l'analyse de données, la génération de rapports, et d'autres capacités. FT-600 est conçu pour répondre aux normes les plus élevées de qualité et de fiabilité et est adapté à une grande variété d'applications de métrologie et de production. Ses performances d'imagerie et de revêtement avancées, combinées à sa suite logicielle robuste, en font une solution idéale pour les besoins exigeants de l'industrie des semi-conducteurs.