Occasion KLA / TENCOR FT-750 #9377280 à vendre en France

KLA / TENCOR FT-750
ID: 9377280
Style Vintage: 1994
Film thickness measurement system 1994 vintage.
KLA/TENCOR FT-750 Wafer Testing and Metrology Equipment est un ensemble complet de matériel et de logiciels intégrés pour l'inspection et la mesure des procédés avancés de fabrication des wafers. Il combine des technologies avancées de métrologie et d'inspection des défauts dans un système unique pour des essais et des métrologie de plaquettes très précis et à haut débit. KLA FT-750 fournit l'inspection automatisée de la gaufrette entière la métrologie de surface et dans la ligne par les technologies d'inspection basées sur la vision et a automatisé l'essai de gaufrette non-destructif. Avec sa capacité de balayage à grande vitesse et ses outils multiples dans une seule unité, TENCOR FT 750 est en mesure d'inspecter et de caractériser les wafers pour détecter rapidement et précisément les défauts. La machine comprend également KLA Advanced Inspection Technologies (AIT) qui prévoit une inspection des défauts indépendante de la plate-forme avec un logiciel d'exploitation standard (SOS) sur chaque outil et un diagnostic des défauts avec TENCOR Defect Diagnostics Tool (DDS). La technologie AIT indépendante de la plate-forme aide à combler l'écart entre les caractéristiques visibles dans l'image SEM et les tendances de défauts pertinentes. Le KLA FT 750 est composé de trois composantes : la station de test des plaquettes, la station de métrologie des plaquettes et le scanner. La station de test de la plaquette est équipée d'un puissant atout de caméra qui fournit une inspection rapide et la métrologie de la plaquette. Le scanner est une machine multi-axes à grande vitesse qui est chargée de scanner la plaquette puis de transférer l'image à la station de métrologie de la plaquette. La station de métrologie des plaquettes est le principal outil de travail du modèle et combine les technologies d'inspection des plaquettes et de métrologie en une seule plate-forme. Il est équipé de deux tâches d'inspection des plaquettes - une station d'inspection optique et un microscope électronique à balayage (SEM) - et de quatre tâches de métrologie automatisée. Les tâches de métrologie automatisée comprennent les mesures de résistivité, la mesure de superposition, l'imagerie AFM et le profilage de profondeur. FT 750 Wafer Testing and Metrology Equipment offre un système efficace pour les tests de wafer et la métrologie. Son matériel et son logiciel intégrés permettent des inspections et des mesures rapides et précises des plaquettes pour un rendement maximal et un contrôle des processus. Avec sa technologie AIT, sa capacité de numérisation à grande vitesse et ses outils multiples, FT-750 est un choix idéal pour l'inspection des plaquettes et la métrologie.
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