Occasion KLA / TENCOR FX 100 #9240150 à vendre en France
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ID: 9240150
Style Vintage: 2005
Thickness measurement system
Module: EFEM
Missing PC
2005 vintage.
KLA/TENCOR FX 100 est un équipement haut de gamme de métrologie et d'essai de plaquettes conçu pour fournir des mesures précises des matériaux semi-conducteurs. Ce système offre des technologies de pointe pour fournir les résultats les plus précis pour les essais de plaquettes et la métrologie. KLA FX 100 dispose d'un capteur d'imagerie haute résolution pour mesurer avec précision les caractéristiques des plaquettes semi-conductrices. Cette machine peut mesurer les caractéristiques des matériaux jusqu'à des tailles de sous-microns. En outre, l'outil est équipé d'un atout d'imagerie haute résolution afin qu'il puisse produire une vue tridimensionnelle précise de la plaquette. Cela permet à l'utilisateur d'utiliser avec précision Critical Dimension (CD). Le modèle utilise également un étage multi-axes à grande vitesse pour représenter avec précision la zone d'essai complète de la plaquette. Pour la métrologie sans contact, l'équipement est également équipé d'un module robuste de métrologie sans contact, qui permet de mesurer la topographie de surface et les défauts de la plaquette. Le module de métrologie sans contact est capable d'identifier un large éventail de types de défauts, y compris des puits, des dislocations, des coupures de pas et des cavités. Le système est également livré avec une unité de vérification des plaquettes très avancée pour garantir la précision et la fiabilité des résultats d'essai des plaquettes. La machine de vérification des plaquettes est capable d'effectuer une série complète de tests électriques et mécaniques sur les plaquettes. Ces essais comprennent la caractérisation des dispositifs semi-conducteurs, l'essai des paramètres électriques et divers tests d'intégrité. L'outil a la capacité de vérifier l'intégrité des plaquettes avant même les essais. TENCOR FX 100 dispose également d'un outil de manutention automatique des plaquettes pour fournir vitesse et précision pour les essais des plaquettes. Ce modèle est capable de charger et décharger les plaquettes rapidement et de manière fiable. De plus, l'équipement dispose d'un système de recette automatisé qui peut stocker jusqu'à 50 recettes, permettant aux opérateurs d'explorer différentes combinaisons de paramètres de test. Pour plus de commodité, l'unité FX 100 dispose également d'une interface utilisateur graphique (interface graphique) basée sur Windows. Cela permet aux utilisateurs d'accéder et de contrôler rapidement les différentes opérations de test de la machine grâce à l'utilisation d'une interface intuitive. L'interface graphique fournit également des outils automatisés d'analyse des données, afin que les résultats des tests puissent être évalués rapidement et avec précision. KLA/TENCOR FX 100 est un outil d'essai et de métrologie de plaquettes leader dans l'industrie qui offre des technologies innovantes et des fonctionnalités avancées pour garantir les résultats les plus précis et précis. Son atout d'imagerie haute résolution, son module de métrologie sans contact, sa vérification des plaquettes, sa manipulation automatique des plaquettes et son modèle de recette automatisé en font un équipement fiable et robuste pour les essais de plaquettes et la métrologie.
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