Occasion KLA / TENCOR HRP 220 #9276589 à vendre en France
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ID: 9276589
Surface profiler
Maximum scan length: 205 mm
Measurement head with UltraLiteTM sensor:
Vertical range: 0-130 um
Stylus force: 0.05-10 mg
Constant stylus force control
Top view dual-magnification optics:
Black and white camera
L-Stylus: 2 um
Radius: 60°
Dual-stage system:
Sensor stage with 1 nm resolution
Long range sample stage with 205 mm scan length
Motorized level and rotation
Wafer handler:
Dual 200 mm cassette position (100 mm / 125 mm / 150 mm)
With locator
Flat / Notch orientation finder
Integrated vibration isolation system
PC Minimum configuration:
Pentium III Processor: 650 MHz
RAM: 128 MB
Hard drive: 80 GB
Ethernet network adapter card
LCD Monitor, 17"
Floppy disk drive, 3.5" (1.4MB)
Operating system: Windows NT
SECS / GEM Interface.
KLA/TENCOR HRP 220 est un système d'essai et de métrologie de plaquettes, conçu pour mesurer et évaluer les caractéristiques optiques, électriques et structurelles des couches de couches minces sur des plaquettes de silicium, au cours de la fabrication de semi-conducteurs. Il utilise la technologie de la scatterométrie optique, en combinaison avec une plate-forme active intégrée, pour fournir des mesures précises et à haute résolution de la surface d'une plaquette sur une gamme de longueurs d'onde, d'angles et de profondeurs. KLA HRP220 est équipé de lasers à cinq longueurs d'onde et de moteurs à tôle lourde de haute précision pour un contrôle précis du mouvement. Son scatteromètre laser vecteur est doté d'un gilet d'aluminium yttrium (Nd : YAG) dopé au néodyme doublé en fréquence et associé à un réseau de diodes photo à faible bruit, ce qui permet d'obtenir des résultats précis à toutes les longueurs d'onde. Son optique avancée augmente les temps de débit, tandis que la possibilité de déplacer le chemin optique permet de mesurer différentes parties de la plaquette sans entrée manuelle ni mouvement. TENCOR HRP-220 est également capable de mesurer une grande variété de caractéristiques, y compris l'indice de réfraction, la pénétration optique, les diffuseurs et la rugosité de surface, ainsi que de tester de manière non destructive des couches de différents matériaux tels que le nitrure de silicium, le verre polysilicate et l'oxynitrure d'aluminium. Sa plate-forme active intégrée se compose d'un système de test électrique, de tables optiques variables et d'une interface utilisateur dédiée, tous conçus pour être contrôlés à partir d'un seul endroit et fournir à l'utilisateur un contrôle complet des processus de test et de métrologie des plaquettes. Le logiciel HRP 220 offre aux utilisateurs une large sélection de fonctionnalités et d'options, leur permettant d'analyser et d'évaluer leurs données rapidement et facilement. Il comprend plusieurs modules, chacun conçu pour mesurer et analyser différentes caractéristiques d'une plaquette, ainsi qu'une bibliothèque de modèles couramment utilisés pour une meilleure utilisation des données. Il offre également des capacités avancées de traitement graphique - idéal pour visualiser et analyser des données complexes. Avec ses capacités globales, KLA/TENCOR HRP-220 permet de tester et d'analyser rapidement et avec précision les propriétés structurelles et fonctionnelles des plaquettes, de soutenir des activités de recherche et de développement, ou utilisées pour la réutilisation de la production.
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