Occasion KLA / TENCOR HRP 260 #293628462 à vendre en France

KLA/TENCOR HRP 260 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui utilise la métrologie optique et l'analyse d'images pour effectuer des mesures précises et précises de la géométrie des plaquettes, de l'épaisseur des plaquettes et de la topographie de surface des plaquettes semi-conductrices. Le système est composé de plusieurs composants, dont une tête de mesure, un outil d'essai aligné optiquement, et un étage moteur XY automatisé avec isolation intégrée de la zone thermique ; ces composants travaillent ensemble pour mesurer les caractéristiques du dispositif avec une précision et une répétabilité exceptionnelles. Le cœur de l'unité réside dans l'outil de test intégré, qui combine un éclairage RVB spécialisé, de multiples objectifs et plusieurs axes de mouvement. L'outil de test permet des mesures rapides et précises de la topologie de la surface de la plaquette, de l'épaisseur de la plaquette, de la planéité de la plaquette, de la position centrale de la plaquette et de la planéité du dispositif. L'outil de test est capable de mesurer une variété de plaquettes allant de 200mm à 300mm de diamètre, et est capable de mesurer automatiquement jusqu'à 200 caractéristiques sur une seule plaquette. En plus de l'outil de test optiquement aligné, KLA HRP 260 contient également un étage moteur XY automatisé avec isolation de zone thermique embarquée. Cette étape est conçue pour supporter les axes de mouvement de l'outil de test, ainsi que pour assurer une protection contre la dérive thermique et les vibrations. TENCOR HRP 260 fournit à l'utilisateur une suite complète de capacités de mesure. Il supporte les mesures automatiques en boucle ouverte et en boucle fermée, et est capable de mesurer simultanément la topologie de surface, le décalage central et la planéité de chaque plaquette. En combinant les techniques optiques traditionnelles avec les techniques à base de laser, la machine est capable de fournir un maximum de précision et de précision. L'outil est équipé d'un module de collecte de données en temps réel qui recueille et stocke toutes les données collectées en temps réel, puis les transmet à une unité de traitement embarquée. Cette unité est chargée d'analyser les données et de produire divers rapports qui servent à assurer la conformité et à cerner les problèmes. HRP 260 dispose également d'une interface utilisateur simple qui permet à l'utilisateur d'accéder facilement aux résultats de mesure et de suivre rapidement et facilement la performance des actifs. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR HRP 260 est un modèle avancé d'essai et de métrologie de plaquettes qui utilise des techniques de métrologie optique et d'analyse d'images pour fournir précision et précision lors de la mesure des caractéristiques des plaquettes semi-conductrices. L'équipement prend en charge les mesures automatiques en boucle ouverte et en boucle fermée, recueille des données en temps réel et génère plusieurs types de rapports pour la conformité réglementaire et la surveillance des performances.