Occasion KLA / TENCOR HRP 340 #293601223 à vendre en France
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KLA/TENCOR HRP 340 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour des mesures à haut débit, haute précision et haute résolution. Il a été optimisé pour fournir des résultats de mesure rapides et fiables pour les mesures au niveau de la filière, au niveau de la plaquette et au niveau de la sous-filière. Le système comprend une unité optique améliorée, des capteurs d'image haute résolution et un logiciel intégré qui permet de mesurer les paramètres électriques et optiques. La machine est capable de manipuler des substrats de 8 pouces à 300 millimètres, et fournit un étalonnage rapide et une excellente répétabilité métrologique. KLA HRP 340 intègre un certain nombre de composants optiques, électriques et numériques pour assurer des mesures précises et reproductibles. L'outil optique comprend une caméra haute résolution avancée, une caméra CCD très sensible, et un microscope numérique pour obtenir des images haute résolution. L'actif est en outre équipé d'un chargeur-déchargeur entièrement automatisé, ce qui élimine le besoin d'étalonnage fréquent. Le modèle dispose également d'un étage intégré pour l'alignement automatique et le positionnement des plaquettes pour le test. L'équipement permet des tests manuels et automatiques et dispose d'une gamme complète de logiciels, y compris des outils de test au niveau des plaquettes, des outils de test au niveau des puces et des modules, et un logiciel d'analyse piloté par les données. Le logiciel permet de tester des paramètres électriques tels que le profilage dopant et l'analyse des impuretés, ainsi que des paramètres optiques tels que la rugosité de surface et l'indice de réfraction. Le logiciel piloté par les données peut également fournir une inspection macro et micro-défauts au niveau des plaquettes. TENCOR HRP 340 dispose également d'un système de métrologie à double face pour fournir des résultats de métrologie de haute précision. L'unité comprend un capteur optique uni-pixel, un capteur CCD à double canal et un capteur de position laser. Le capteur optique fournit une mesure précise de la rugosité de surface, de la taille des grains, de la texture de surface et de la largeur des lignes. Le capteur CCD à double canal fournit une mesure précise de la largeur de ligne, de la variance de la longueur de ligne, de l'erreur de placement des bords et de la précision de recouvrement. Le capteur de position laser fournit une résolution précise de la mesure du sous-micromètre. Dans l'ensemble, HRP 340 est une machine d'essai et de métrologie avancée conçue pour fournir des mesures fiables et précises au niveau des plaquettes. L'outil dispose d'une combinaison de composants optiques, électriques et numériques qui permettent des mesures précises des niveaux de matrice et de sous-matrice. L'actif dispose également d'un logiciel puissant pour les essais au niveau de la filière, du niveau de la plaquette et du niveau de la sous-filière, ainsi que d'un modèle de métrologie à double face pour des mesures de métrologie de haute précision. Avec ces caractéristiques, KLA/TENCOR HRP 340 est un excellent équipement pour l'essai de plaquettes et la métrologie.
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