Occasion KLA / TENCOR HRP 340 #293656412 à vendre en France

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ID: 293656412
Style Vintage: 2002
Profiler Dual FUOP type 2002 vintage.
KLA/TENCOR HRP 340 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir un contrôle de qualité complet pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un microscope électronique à balayage (SEM) qui permet l'inspection de précision des défauts et la mesure de métrologie des structures de micro-taille. Ce système est optimisé pour les tests automatisés à grande vitesse sur plaquettes de 300 millimètres (mm) et comprend une variété de caractéristiques pour le débit de vitesse et fournir la plus grande précision. KLA HRP 340 est construit sur une architecture modulaire qui permet jusqu'à trois tâches simultanées de mesure et d'inspection. C'est une unité de 300 mm avec une configuration d'accès à un seul côté qui est optimisée pour le balayage à grande vitesse des plaquettes. La machine comprend également une table d'amélioration des performances de dérive de 6 pouces (DIP) et un outil de transfert d'échantillons sans plasma. TENCOR HRP 340 possède un atout d'imagerie très avancé qui permet une imagerie à haute sensibilité ainsi que des mesures de métrologie précises avec une résolution sous-nanométrique. Le modèle comprend une source de rayons X semi-métalliques extrêmement brillante et un laser ultraviolet de haute puissance qui permet une imagerie détaillée et une longue profondeur de focalisation. L'équipement d'imagerie électronique à haute sensibilité est conçu pour permettre une détection précise des micro-défauts tout en fournissant des capacités de mesure 3D pour la caractérisation des dispositifs. HRP 340 comprend également un progiciel avancé de contrôle et d'acquisition de données (K-STAR). K-STAR comprend la capacité de contrôle automatisé des unités, le traitement automatisé des données de mesure et d'imagerie et la classification automatisée des défauts. Il prend également en charge de nombreux protocoles standard de l'industrie (p. ex., IEEE, EDA, SIPI, ATE, etc.), ce qui facilite l'intégration de KLA/TENCOR HRP 340 dans les processus de production existants. KLA HRP 340 est une machine d'essai et de métrologie de wafer de pointe conçue pour fournir des capacités de mesure et d'imagerie précises pour la détection de défauts de haute sensibilité et les mesures de densité. C'est un outil puissant pour contrôler le processus et la qualité pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, car il offre un outil d'imagerie avancé, un logiciel de contrôle des actifs et une classification automatisée des défauts - tous conçus pour fournir la plus grande précision pour l'assurance de la qualité.
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