Occasion KLA / TENCOR HRP 340 #293777442 à vendre en France

KLA / TENCOR HRP 340
ID: 293777442
Profiler.
KLA/TENCOR HRP 340 Wafer Testing and Metrology Equipment est conçu pour fournir des résultats automatisés, précis et fiables pour l'essai et la mesure des wafers. Le système offre un large éventail de caractéristiques, y compris l'imagerie en plein champ, la métrologie des défauts photomasques, la mesure de la profondeur de la dimension critique (CD) et de la gravure, l'analyse du CD sur-gravure et l'observation télécentrique de haute précision. KLA HRP 340 est équipé d'un stéréoscope télécentrique 25X, d'un interféromètre laser de 6 pouces et d'un étage motorisé x, y, z pouvant supporter jusqu'à quatre plaquettes simultanément dans un environnement d'inspection fermé. Il offre la gamme dynamique la plus élevée de toute unité de test de plaquettes disponible, et son grossissement variable permet des mesures précises dans la gamme nanométrique. Au cœur de TENCOR HRP 340 se trouve son puissant moteur d'imagerie et de métrologie. Il utilise un pipeline de traitement d'images à 8 voies pour fournir une analyse rapide des défauts complexes, avec une imagerie proche infrarouge (NIR) et des capacités de mesure pour une profondeur de champ accrue. Cela permet à HRP 340 d'analyser rapidement les anomalies des photomasques, telles que les trous de rose et les particules étrangères, et d'identifier et de mesurer avec précision les dimensions des structures de défauts multiples, y compris les trous de contact, les tranchées et la rugosité des bords de ligne (LER). Le logiciel avancé de la machine comprend des outils de métrologie CD/dimension critique tels que le contour, les profils de ligne, les isolins et la planarité, assurant des mesures précises. Il offre également des fonctions d'adaptation automatique de motifs et de recherche d'anomalies à haute résolution qui le rendent idéal pour la détection de particules et les mesures à haut débit. En plus de ces fonctionnalités, KLA/TENCOR HRP 340 dispose de capacités d'alignement et de compensation rotationnelle des plaquettes en un clic, permettant aux opérateurs de repositionner et de mesurer les plaquettes rapidement et avec précision sans perdre de temps ou de ressources précieuses. Il est également équipé d'un module auto-focus qui garantit une qualité d'image optimale tout en réduisant le risque de désalignement. KLA HRP 340 est conforme aux normes SEMI et SEMI et a été utilisé avec succès pour le profilage de surface 3D et la mesure de largeur de ligne dans l'industrie des semi-conducteurs. Dans l'ensemble, TENCOR HRP 340 Wafer Testing and Metrology Tool est une solution idéale pour l'inspection automatique des plaquettes, fournissant une solution complète et puissante pour le test et la mesure précis et fiable des plaquettes.
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