Occasion KLA / TENCOR HRP 340 #293794170 à vendre en France

KLA/TENCOR HRP 340 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour l'inspection physique non destructive et à haute résolution des plaquettes à semi-conducteurs. Ce système avancé de test de plaquettes utilise plusieurs caméras et une technologie d'imagerie numérique pour mesurer et détecter avec précision les défauts électriques, mécaniques et optiques sur la surface de la plaquette. Sa capacité d'inspection physique permet l'inspection des plaquettes jusqu'à 380mm avec une résolution de 0,25 μ m et une profondeur de focalisation jusqu'à 4,5 μ m, ce qui aide à identifier les particules, les rayures et autres défauts sur les surfaces des plaquettes. L'unité a également la capacité d'inspecter plusieurs meurtres sur une plaquette à la fois. L'inspection de plusieurs meurtrières sur une plaquette est effectuée par son moteur de focalisation automatisé, étage XY motorisé, et une machine d'imagerie intégrée qui contribue à fournir un résultat rapide et précis. KLA HRP 340 offre une large gamme d'options pour la détection, les mesures et la caractérisation des défauts. Il comprend divers tests électriques tels que la polarisation en courant continu, les mesures de capacité et de résistivité, ainsi que des mesures pour la largeur de ligne, le comptage des bords, le comptage polygonal, le comptage des pixels CCD et le courant de fuite. En outre, il propose également des tests optiques tels que l'analyse de surface, la détection de défauts et d'épaisseur de film, ainsi que l'analyse et l'identification de particules. Ses capacités d'imagerie comprennent SEM, STM, TEM et l'imagerie à fort grossissement. Son étage XY motorisé permet de minimiser le décalage de position entre les différents points de test, assurant ainsi une meilleure répétabilité et reproductibilité des résultats. L'outil est intégré à un logiciel de pointe qui est conçu conformément aux exigences spécifiques de l'industrie et fournit des données fiables pour l'analyse et l'établissement de rapports. Construit avec une interface utilisateur intuitive, le logiciel offre une gestion efficace des données et des solutions RCP (Statistical Process Control). Il comprend également des recettes conformes à SEMI qui aident à générer des rapports utiles répondant aux normes de l'industrie. TENCOR HRP 340 est le choix idéal pour l'inspection haute résolution des plaquettes semi-conductrices dans les applications de test et de métrologie des plaquettes. Ses caractéristiques et capacités avancées le rendent parfaitement adapté à la métrologie et à la caractérisation des niveaux de filière avancés, ce qui accélère le processus de test des plaquettes et de métrologie.