Occasion KLA / TENCOR HRP 340 #9383060 à vendre en France

KLA/TENCOR HRP 340 est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie qui permet aux fabricants de mesurer rapidement et avec précision les paramètres planaires et dimensionnels des plaquettes microélectroniques à semi-conducteurs. Il est adapté à la mesure de variables dynamiques (largeur, épaisseur, topologie de surface, etc.), fournissant diverses applications métrologiques et électriques, et assurant des mesures extrêmement précises et fiables. Le système utilise des techniques avancées de traitement d'image et de reconnaissance de motifs. L'unité comprend un étage, un porte-échantillon, une station d'orientation des plaquettes, une table tournante et des algorithmes avancés de traitement et de mesure de la vision. Pour amorcer le processus de mesure, la machine place l'étage horizontal en position d'accueil. Ensuite, l'opérateur place une plaquette sur le porte-échantillon et la déplace manuellement vers l'une de plusieurs positions d'orientation. Une fois la plaquette en place et correctement orientée, la table tournante tourne, ajustant automatiquement la plaquette à un nombre fixe de positions de test. À chaque position d'essai, l'outil détecte les caractéristiques de la plaquette et mesure les caractéristiques planaires et dimensionnelles à l'aide d'une combinaison de technologie d'imagerie et de capteur de force. L'actif traduit alors et fait tourner la plaquette vers son orientation d'origine et prépare l'étape pour la prochaine plaquette à mesurer. Une fois le cycle terminé, le modèle stocke les données mesurées en mémoire vive ou vers un dispositif externe pour une analyse plus approfondie. Le KLA HRP 340 est équipé de quatre outils de traitement à diverses fins, dont le Focus-in-Place à la fois pour l'illumination par diffusion avant (FSI) et le Through-the-Lens (TL) pour mesurer une grande variété de caractéristiques planaires. Il peut détecter des caractéristiques sur l'ensemble de la plaquette tout en contrôlant avec précision la mise au point. L'angle de pointe d'électrode (ETA) est un outil utilisé pour l'évaluation du profil dimensionnel. Outil de profil de substrat (SP) est utilisé pour mesurer le profil vertical de la plaquette pendant qu'il est sur la scène. L'outil d'épaisseur totale (TTT) est conçu pour mesurer l'épaisseur totale de la plaquette, ainsi que d'autres paramètres dimensionnels. TENCOR HRP 340 permet des tests de plaquettes robustes et reproductibles et une métrologie, ce qui permet d'obtenir des processus précis et productifs pour toutes les productions. Il est conçu pour répondre aux exigences de volume élevé, réduire les coûts et s'assurer que les mesures répondent aux normes de qualité les plus élevées. En outre, l'équipement est capable de métrologie simultanée sur plusieurs plaquettes et lots de plaquettes, ce qui augmente encore l'efficacité et la vitesse de production.