Occasion KLA / TENCOR HRP 340 #9400332 à vendre en France
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KLA/TENCOR HRP 340 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des essais rapides et précis non destructifs des plaquettes de grand diamètre IC et MEMS pendant le processus de fabrication. Ce système utilise une source de lumière laser ultra-violette haute puissance couplée à une unité de métrologie optique avancée pour mesurer avec précision l'épaisseur, la planéité planaire, la rectitude des bords et d'autres caractéristiques physiques des microstructures sur une plaquette à semi-conducteur. KLA HRP 340 est équipé d'optiques et de détecteurs avancés, qui permettent à l'utilisateur de saisir avec précision les informations de métrologie. La machine se compose d'un interféromètre laser de 4,3 mégapixels ; une capacité d'auto-focus/auto-alignement, une technique de mesure optique avancée appelée « profilométrie bidimensionnelle » et un outil de calcul automatique des paramètres. Cet actif est conçu spécifiquement pour tester et mesurer des plaquettes IC et MEMS de 1 « à 8 » et est capable d'effectuer toutes les mesures nécessaires en moins d'une minute. TENCOR HRP 340 offre des capacités complètes de détection de défauts et est capable de détecter divers types de défauts tels que les trous d'épingle et les dommages de gravure. Ce modèle a également une capacité à haut débit, permettant de tester et d'analyser simultanément jusqu'à 200 plaquettes par heure. De plus, l'interface automatisée et conviviale de l'équipement facilite sa mise en place et son fonctionnement, tout en fournissant une rétroaction en temps réel sur les résultats de mesure. De plus, le HRP 340 est équipé de fonctions avancées d'inspection, d'analyse et de rapport. Ce système permet d'identifier et de mesurer des défauts indétectables ou d'autres caractéristiques non dimensionnelles, puis de stocker les résultats de mesure dans la mémoire embarquée. De plus, l'utilisateur peut facilement recevoir une comparaison immédiate de ses résultats de test avec des limites prédéfinies. Une composante supplémentaire facultative, TDK Level 200, peut fournir une analyse approfondie et un rapport de métrologie complet dans le cadre du test de la plaquette. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR HRP 340 est une unité d'essai et de métrologie de plaquettes puissante et très avancée qui est conçue pour mesurer les caractéristiques physiques des microstructures sur une plaquette à semi-conducteur. Avec sa capacité à haut débit, des précisions rapides, des capacités de configuration et de déclaration automatisées et des capacités avancées de détection de défauts KLA HRP 340 est une solution idéale pour les fabricants de semi-conducteurs et de MEMS à la recherche d'une solution fiable et rentable de test de plaquettes.
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