Occasion KLA / TENCOR HRP & P Series #293597081 à vendre en France

KLA/TENCOR HRP&P Series est un système d'essai et de métrologie de plaquettes qui offre un débit et une fiabilité inégalés. Les KLA HRP&P Series sont conçues pour mesurer et corriger les effets des processus sur les couches critiques comme le contact, la grille et le métal au niveau des plaquettes. La couche mémoire non volatile (NVM) est particulièrement critique car elle définit les performances ultimes de fabrication des plaquettes. TENCOR HRP&P Series utilise le tranchant AutoSTAR™ optique et la métrologie de faisceau d'électrons pour les mesures de couche NVM extrêmement précises et les évaluations. Les outils de détection de défaut d'image de SmartVue™ permettent l'identification de défaut fiable et l'endroit. La série HRP&P est configurée avec une taille maximale de plaquette de 300mm ainsi que plusieurs capteurs de mesure, dont chacun ont des mouvements spécifiques d'application et des gammes d'appareils distincts. La métrologie optique utilise le balayage à haute densité et le zoom à plusieurs niveaux pour assurer une inspection, une caractérisation et une classification détaillées des défauts. La métrologie des faisceaux d'électrons KLA/TENCOR HRP&P Series fournit un balayage automatisé haute résolution, répétable et réglable pour une analyse détaillée de l'empilement et de l'intégrité de la couche. De plus, la fonction brevetée de haute précision Die-to- Die™ de la série KLA HRP&P offre une mesure rapide et précise de l'épaisseur des couches minces avec une précision sous-nanométrique. Cela garantit que les couches minces critiques répondent aux spécifications du procédé. Les systèmes TENCOR HRP&P Series offrent un débit de masque élevé avec un maximum de 800nm par seconde pour la mesure die-to-die, réduisant considérablement le temps de cycle de mesure global. Les systèmes HRP&P Series sont utilisés dans des applications de métrologie avancées telles que la conception de circuits, la caractérisation et le développement de processus semi-conducteurs avancés, l'intégration 3D, la cartographie NTI/NTIP et d'autres. La série KLA/TENCOR HRP&P offre une stabilité, des performances, une fiabilité et une précision supérieures pour répondre aux exigences de métrologie les plus strictes et aux couches critiques du processus. Il fournit le débit d'échantillon le plus élevé et le fonctionnement rentable aux principaux fabricants de l'industrie, ce qui en fait une plate-forme idéale pour le contrôle de la production et la surveillance des processus de fabrication des plaquettes semi-conductrices.