Occasion KLA / TENCOR / ICOS T830 #9218718 à vendre en France
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Vendu
ID: 9218718
Style Vintage: 2016
Fully automatic optical inspection system
Inspection stage 1: IVC-4000 Camera
Inspection stage 2 & 3: IVC-25K Light resolution camera (Front and rear)
2016 vintage.
KLA/TENCOR/ICOS T830 Wafer Testing and Metrology Equipment est une solution d'automatisation avancée de haute précision conçue pour la gestion du rendement des semi-conducteurs et la caractérisation du développement des processus. Le système est équipé d'une caméra haute résolution, d'un étage d'échantillonnage motorisé et d'une unité de traitement de substrat entièrement automatisée. La machine est capable de fournir une métrologie simultanée avec débit rapide, des mesures de haute précision, et répétabilité et reproductibilité des résultats. Il offre la capacité de mesurer rapidement et précisément les caractéristiques des plaquettes en acquérant différents types de propriétés physiques. L'outil est équipé d'imagerie numérique haute résolution et de systèmes de logique et de contrôle améliorés pour l'imagerie de vitesse vidéo de structures d'ingénierie complexes avec une grande précision. Il possède une capacité de reconnaissance intégrée de motifs (PR) qui aide les opérateurs à analyser de façon fiable des substrats complexes tels que le SOI (silicium sur isolant) et le BCB (bisbenzocyclobutène). L'actif utilise diverses méthodes de métrologie, telles que l'imagerie spectroscopique, l'imagerie optique 2D et 3D, la scatterométrie et l'ellipsométrie dynamique pour mesurer différentes propriétés. Il est utilisé pour la caractérisation structurelle, la caractérisation transversale des tranches, l'analyse du site de défaut et de l'isolement, les mesures de parité entre tranches et mailles et l'évaluation de l'orientation des appareils. Grâce à l'intégration des capacités d'analyse et de métrologie, le modèle est capable d'assurer un rendement puissant au niveau de l'équipement. Le système est équipé de PCB (circuit imprimé) inspection et inspection optique et métrologie qui offre une imagerie haute fidélité. Il est conçu avec modularité et évolutivité avec une flexibilité, une précision et un débit améliorés. Ses composantes de protection de l'environnement améliorent encore les performances et la stabilité de l'unité et assurent un bon rapport coût-efficacité. La machine est intégrée à une plate-forme logicielle intuitive et interactive qui permet une émétrologie uniforme et précise avec un reporting et une analyse automatisés. Sa programmation orientée vers les tâches permet une configuration rapide des processus et de l'analyse pour la reconnaissance des fonctionnalités. Cet outil est également fourni avec une variété d'applications de soutien d'ingénierie et de services qui facilitent la mise en œuvre de l'actif. En conclusion, KLA T830 Wafer Testing and Metrology Model est une solution d'automatisation avancée spécialement conçue pour la gestion du rendement des semi-conducteurs et le développement des processus. Il est équipé d'une caméra haute résolution, d'un étage d'échantillonnage motorisé et d'un équipement de manutention de substrat entièrement automatisé, ce qui le rend capable de fournir une métrologie simultanée avec un débit rapide, des mesures de haute précision, ainsi que la répétabilité et la reproductibilité des résultats. En outre, il est intégré avec une plateforme logicielle intuitive et interactive et livré avec une variété d'applications de soutien d'ingénierie et de services.
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