Occasion KLA / TENCOR LMS IPRO5 #9163708 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9163708
Style Vintage: 2012
CD Metrology system
Photomask registration
0.25 inch photomask and EUV masks
Static positional repeatability: 3s (Short therm: 0.5 nm)
Dynamic positional repeatability: 99.7% limit (Long term: 0.8 nm)
Positional accuracy: 99/7% limit (Long term): 1.0 nm
Light mod: Reflective and transmitted
Measurement principle:
Edge detection of parallel edges
Center of Gravity algorithm
Pattern centrality measurement capability
Illumination source wavelength: 266 nm
Objective lens: 80x, NA 0.80
Working distance: 6.9 mm
Stage laser positioning system: 0.15 nm (LAMDA / 4096)
Wavelength compensation: ETALON
Field of view: 22.5 microns by 22.5 microns
Handing: RSB 200 SMIF input / output
Mask stocker capacity: 2 x 4 6025 reticles
Software:
MS Windows 7
KLA Job processor
KLA LMSCOrr
KLA Deva
KLA CD Calib
KLA System monitor
KLA LMSASCII
KLA GEM Module
2012 vintage.
KLA/TENCOR LMS IPRO5 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de haute performance qui aide à améliorer la productivité de fabrication et l'uniformité des processus. Il dispose de mesures de haute précision et d'un fonctionnement fiable, ce qui le rend idéal pour les entreprises de l'industrie des semi-conducteurs. Le système dispose d'une plateforme logicielle puissante qui permet l'analyse automatique des données de test et le contrôle avancé des processus. L'unité est composée de plusieurs composants qui travaillent ensemble pour mesurer avec précision les propriétés de plaquettes spécifiques. Son module optique permet de mesurer automatiquement les dimensions critiques de chaque plaquette. Ses modules de transport sont responsables de la livraison de l'outillage approprié à la plaquette sous-testée. La puce de la machine se compose de plusieurs puces sophistiquées, qui fournissent la logique, le contrôle moteur et les signaux numériques nécessaires pour contrôler les outils. La capacité de métrologie intégrée de l'outil recueille et analyse une variété de données d'essai telles que les mesures IQ, OQ et PQ sans nécessiter de programmation manuelle. Il présente également une réflectance de surface spéculaire, ce qui contribue à améliorer la précision et la sensibilité des mesures. En outre, sa capacité Auto-Focus contribue à réduire le besoin d'intervention manuelle, améliorant ainsi la fiabilité des processus. L'actif dispose également d'une interface utilisateur logicielle intuitive et facile à utiliser. Il permet aux opérateurs de configurer facilement leurs paramètres de test, d'étalonner le modèle de mesure et d'analyser les données. Cette expérience utilisateur intuitive permet même aux opérateurs les plus inexpérimentés de se relever rapidement avec l'équipement. KLA LMS IPRO5 est conçu pour être flexible et évolutif pour répondre aux exigences de l'industrie moderne des semi-conducteurs. Il offre une large gamme de capacités de processus et de solutions de métrologie avancées. Le système est également très fiable et facile à entretenir. De plus, sa conception modulaire permet des mises à niveau. Toutes ces caractéristiques en font l'unité de test et de métrologie parfaite pour améliorer la productivité de fabrication et l'uniformité des processus.
Il n'y a pas encore de critiques