Occasion KLA / TENCOR M-GAGE 200/300 #293652075 à vendre en France
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KLA M-GAGE 200/300 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour les procédés de sous-50nm. Il dispose d'une plate-forme d'inspection optique de pointe et d'une technologie de balayage vertical innovante et éprouvée en silicium. Ce système est équipé d'une station de chargement automatique de 200 ou 300 mm ainsi que d'une fonction d'auto-alignement avancée qui permet des résultats rapides et efficaces. Les capteurs propriétaires utilisés dans l'unité fournissent aux utilisateurs une capacité de capture de données haute résolution. L'optique avancée et le capteur haute sensibilité assurent une détection minimale des défauts sans résultats faussement positifs. De plus, la technologie multi-corrélateurs offre une vue inégalée et une évaluation quantifiable de la surface d'une plaquette. Le M-GAGE permet d'identifier des défauts de pointe tels que l'aléatoire, la rugosité des lignes et la dispersion des particules. La machine a un débit élevé qui peut accueillir jusqu'à 200 plaquettes par heure et comprend la technologie populaire Align-Check pour aligner rapidement l'alignement de test. Cet outil est conçu pour être modulaire et fournit des configurations personnalisables en fonction des besoins du client. Un large éventail de tâches d'essai et de métrologie peuvent être effectuées sur des plaquettes, y compris l'optimisation des processus, la détection des plans focaux, l'analyse des défauts et l'analyse des rives. Le logiciel QualWafer intégré gère tous les paramètres de l'appareil et des actifs, créant une interface utilisateur simple qui peut exécuter rapidement des tests. De plus, le logiciel maintient une piste d'audit stricte pour permettre la traçabilité et le contrôle des lots. Le puissant modèle TENCOR M-GAGE 200/300 est idéal pour les fabricants de semi-conducteurs à la recherche de résultats fiables, précis et efficaces en matière d'essais de plaquettes et de métrologie. Grâce à sa conception conviviale, à son optique haute performance et à sa technologie multi-corrélateurs de pointe, l'équipement M-GAGE offre une intégrité et une productivité des données supérieures.
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