Occasion KLA / TENCOR M-Gage 300 #293749862 à vendre en France
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KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui utilise des profileurs optiques 3D puissants et des technologies brevetées de capteur d'image de contact (CIS) pour mesurer et analyser avec précision les caractéristiques topographiques des plaquettes semi-conductrices pendant le processus de production. Le système est très automatisé, capable de mesurer des centaines de sites simultanément, avec des mesures précises de structures de dispositifs même fortement dopées. L'unité est également capable d'effectuer des mesures à toutes les dimensions critiques, permettant un meilleur contrôle du procédé dans la fabrication des plaquettes. L'unité fondamentale de la machine KLA M-Gage 300 est une tête triple capteur, qui combine un profileur optique 3D, un capteur d'image de contact haute résolution et un scatteromètre à laser intégré. Ces trois composantes travaillent ensemble pour fournir une précision sans précédent dans les mesures quantitatives et l'analyse des défauts. L'outil est équipé d'une gamme d'outils spécialement conçus pour la production et la caractérisation de plaquettes semi-conductrices, tels que l'inspection automatisée des défauts, l'évaluation de la qualité de surface et les profils de bord de ligne. TENCOR M-Gage 300 offre également plusieurs technologies uniques et brevetées, comme UltraGage pour la mesure 3D avancée. Ce modèle est capable d'effectuer des mesures 3D ultra rapides, avec des mesures 10x plus rapides par rapport aux techniques traditionnelles. Il offre également un équipement d'imagerie Wafer amélioré propriétaire, ou EWIS. Cette technologie utilise des lasers à forte puissance pour inspecter la surface de la plaquette sans jamais réellement contacter physiquement la plaquette, fournissant des mesures de la surface encore plus précises et rapides. En plus de ces caractéristiques, le système possède également de nombreuses caractéristiques d'augmentation de la productivité, et peut être facilement intégré dans d'autres systèmes de fabrication de plaquettes. L'interface graphique conviviale de l'unité permet également de rationaliser les cycles de production. Sa conception robuste fait de PROMETRIX M-Gage 300 un choix fiable pour des mesures précises et l'analyse des défauts dans les environnements de production les plus exigeants.
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