Occasion KLA / TENCOR M-Gage 300 #293830692 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie qui offre les avantages de ses technologies de pointe. Ce système combine le meilleur de deux technologies d'imagerie avec l'avantage de la métrologie à haut débit - une combinaison de techniques optiques et de scan basés sur la diffusion. La technique d'imagerie optique permet l'imagerie haute résolution de la plaquette à un niveau de zoom allant jusqu'à 3000x. Cette unité combine également des techniques de diffusion optique avec une métrologie à haut débit pour fournir une image pleine plaquette qui comporte des caractéristiques trop petites pour être détectées par une inspection optique traditionnelle, permettant une analyse détaillée de la source de défaillance et contribuant à un temps de récupération du processus plus rapide. Les techniques de diffusion utilisées dans le KLA M-Gage 300 permettent un taux de couverture des défauts de seulement 0,5 micron. Cette méthode de test de plaquettes et de métrologie offre également un débit élevé de 10k plaquettes par heure, réduisant significativement les temps de cycle par rapport aux autres systèmes. La gamme de technologies TENCOR M-Gage 300 permet également de multiples types d'inspection et de caractérisation. Grâce à sa combinaison d'imagerie haute résolution et de techniques de diffusion, la machine peut être utilisée pour détecter les défauts des couches épiques, mesurer l'épaisseur du film et effectuer des tests électriques et la caractérisation. D'autres applications comprennent : la localisation des défauts et des fuites, l'évaluation de l'oxyde de grille, la présence de grille et l'évaluation des contacts électriques, ainsi que l'analyse locale et mondiale de la surface des plaquettes. La technologie de pointe du M-Gage 300 est également mise en évidence par son optique, qui combine une série de lentilles asphériques et télécentriques et une lentille macro-focale 20X, offrant des capacités de capture d'image supérieures. L'outil d'éclairage dispose d'une source lumineuse Canon Gen6 avec un miroir galvanométrique à balayage assurant un éclairage uniforme et un faible chauffage. L'actif comprend également un AccuScale, qui offre une répétabilité de 0,2 micron à un agrandissement de zoom de 3000X, et des données avec une précision de sous-pixel. Les capacités de PROMETRIX M-Gage 300 offrent l'imagerie haute résolution, la métrologie à haut débit et une large gamme d'options de test qui en font un outil puissant pour des tests de wafer et de métrologie efficaces.