Occasion KLA / TENCOR M-Gage 300 #9158625 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 est un système intégré d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour obtenir des résultats de mesure très précis pour des géométries ultra-petites jusqu'au noeud du nanomètre 3X et au-delà. La KLA M-Gage 300 combine des outils de métrologie évolués, tels qu'un CD APS (Autogreffage Structural), un CD OPC (Optical Proximity Correction) et des capacités d'inspection des défauts (DFI). Il fournit une résolution optique jusqu'à 10 nm, atténuant les défis de mesure par rapport aux outils de métrologie traditionnels utilisés pour les géométries plus grandes. TENCOR M-Gage 300 est construit avec une technologie avancée d'étape d'échantillonnage qui permet une précision et une répétabilité absolues pour des mesures à haut débit. L'étape d'échantillonnage crée une fenêtre de processus transparente entre la métrologie et la production de plaquettes, permettant un débit maximal sans sacrifier la précision. Il en résulte des temps de cycle plus faibles, des rendements plus élevés et un rendement amélioré. Le M-Gage 300 intègre des outils de métrologie prêts à être utilisés pour suivre et mesurer de multiples couches et caractéristiques critiques sur les plaquettes, telles que le balisage, les bosses de soudure, les piliers et les plots. Il dispose également de capacités complètes d'inspection des défauts, offrant un examen complet pour chaque couche à l'aide d'une variété d'algorithmes d'inspection. Avec le CD OPC, PROMETRIX M-Gage 300 peut capturer et analyser d'autres occurrences de problèmes potentiels de réduction de rendement. D'autres caractéristiques de KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 incluent des capacités avancées de bord-ckt qui mesurent de très petites fonctionnalités rapidement et avec précision. Il supporte également plusieurs emplacements de mesure avec des capacités d'uniformité et un balayage radial pour augmenter le débit et la précision. Le système prend en charge les mesures de portée de masque, et est précis, répétable et répétable sur plusieurs tailles de plaquettes de silicium. L'interface utilisateur intuitive permet une utilisation facile, avec des tutoriels, des scripts et des rapports simples. La traçabilité complète est activée avec les fichiers journaux et les capacités de suivi embarqué. Enfin, le KLA M-Gage 300 est conçu pour être modulaire et évolutif, afin que ses capacités puissent être mises à niveau et améliorées grâce aux avancées futures tout au long de son cycle de vie pluriannuel.