Occasion KLA / TENCOR M-Gauge 300 #6455 à vendre en France

Le KLA/TENCOR M-Gauge 300 est un équipement de mesure et d'analyse multidimensionnelle et complet pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est spécialement conçu pour la caractérisation rapide et sur place des processus avancés, des dispositifs et du contrôle des processus. KLA M-Gauge 300 est composé d'une combinaison de composants matériels et logiciels qui permettent la mesure et l'analyse en temps réel de haute précision des plaquettes. Ce système utilise une optique avancée et une interférométrie laser de haute précision pour caractériser les caractéristiques physiques des plaquettes en temps réel. Grâce à ces caractéristiques, l'unité peut mesurer les dimensions de petites caractéristiques sur la surface d'une plaquette au moyen d'une métrologie de petites taches (comme la largeur, la profondeur, la hauteur et la précision de position) ; mesurer les conditions du processus (épaisseur, résistivité et précision de recouvrement) ; et mesurer les caractéristiques de surface 3D telles que les hauteurs de pas, les profils de surface et plus encore. TENCOR M-Gauge 300 offre un débit élevé grâce à des mesures automatisées de profondeur d'échantillon et de surface. La machine est capable de mesurer jusqu'à 20 000 points par échantillon en mode procédure 8/2, fournissant une analyse à grande vitesse pour des structures grandes ou complexes. L'outil permet également l'insertion et l'extraction personnalisées d'échantillons sur les étages X-Y, permettant une mesure complète et précise des différentes couches. En plus de ses mesures au niveau des plaquettes, M-Gauge 300 dispose de puissantes capacités de collecte et d'analyse de données. Grâce à sa gamme complète de logiciels d'analyse, l'actif peut être utilisé pour inspecter et analyser tout type de données obtenues à partir d'une plaquette. Cela inclut l'imagerie 2D, les données vectorielles/scalaires, les données temporelles et les données de profil 3D, entre autres. De plus, les données peuvent être facilement intégrées aux résultats des tests et à l'information du processus sur le modèle afin de caractériser pleinement l'ensemble du processus. Dans l'ensemble, le KLA/TENCOR M-Gauge 300 est un équipement d'essai et de métrologie fiable et très précis qui peut caractériser rapidement et efficacement une grande variété de paramètres de plaquettes. Grâce à sa combinaison de capacités optiques, laser et d'analyse de pointe, le système fournit les informations nécessaires pour concevoir, optimiser et surveiller les processus et les dispositifs de pointe, assurant des taux de succès élevés et des rendements améliorés.