Occasion KLA / TENCOR Omnimap RS75 / TC #9159115 à vendre en France

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ID: 9159115
Tabletop resistivity mapping system.
KLA/TENCOR Omnimap RS75/TC est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour analyser les plaquettes de semi-conducteurs au niveau du nanomètre et fournir des résultats de haute précision pour le développement de processus, l'optimisation des processus et la découverte de défauts. Le système RS75/TC est capable de collecter et de fournir une très haute précision, une haute vitesse et une imagerie multi-surface. Il utilise une optique avancée et des étapes de haute précision pour créer des images avec auto-focalisation, puis capture ces images à l'aide d'un détecteur CMOS. Cela permet de mesurer avec précision les profils de surface, les défauts, le nombre de particules et diverses autres caractéristiques de la plaquette. L'unité dispose d'un étage à grande vitesse pour déplacer rapidement les échantillons à travers la zone d'imagerie, permettant des mesures à haut débit et réalistes. Il dispose également d'une interface tactile intuitive qui permet aux utilisateurs de définir rapidement les paramètres de mesure corrects. La machine est également très automatisée, ce qui la rend facile à utiliser et fournit des résultats rapides. De plus, l'outil RS75/TC est équipé d'un détecteur de métrologie à ultra haute sensibilité (UHSM) capable de détecter les changements d'épaisseur, de composition et d'autres propriétés physiques de l'échantillon. Ce détecteur fournit également une gamme puissante d'outils d'analyse pour faciliter l'optimisation des processus. En outre, l'actif est également livré avec une suite logicielle d'imagerie exclusive, KLA Automap, qui est conçu pour évaluer rapidement des profils de surface d'échantillons. Il a la capacité de mesurer les pentes, la rugosité et les sections, qui peuvent être utilisées pour déterminer les conditions du processus. D'autres fonctionnalités de ce logiciel comprennent la conception de modèles et le support de modification utilisateur pour des mesures plus précises. Enfin, KLA Omnimap RS75/TC est conçu pour une large gamme d'applications, telles que la cartographie des morphologies à micro-échelle, les défauts de surface, les identifications de points faibles, la caractérisation des défauts, et bien plus encore. L'appareil est parfait pour le développement de processus, l'optimisation des processus et la découverte de défauts, fournissant des mesures de haute précision, haute vitesse et haut débit.
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