Occasion KLA / TENCOR P1 #293643497 à vendre en France
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KLA/TENCOR P1 est un équipement automatisé de nouvelle génération d'essais de plaquettes et de métrologie. Il combine précision technique et précision de mesure avec des interfaces graphiques intuitives et des processus automatisés pour répondre aux exigences de la production actuelle à haut volume. Le système KLA P-1 est capable de traiter des plaquettes entières jusqu'à 12 pouces et prend en charge le fonctionnement en mode simple et par lots. L'unité TENCOR P1 utilise un maximum de trois ensembles de modules de tête de métrologie, chacun avec ses propres composants matériels intégrés, pour constituer une cellule de processus unique. Chaque module contient une optique avancée et des systèmes de contrôle de mouvement de précision pour assurer les niveaux les plus élevés de précision et de répétabilité. La machine est également équipée d'autofocus à base de laser, facilitant une configuration simple et précise et un alignement rapide du plan de mesure avec le plan de la plaquette. Le processus de test et de métrologie de la plaquette commence par charger une plaquette dans une recette spécifique. Les paramètres tels que les niveaux d'exposition, la focalisation cible, le plan de mesure et les points de mesure sont choisis par l'exploitant. L'optique mesure et inspecte les plaquettes pour vérifier leur épaisseur, leur forme géométrique, leurs défauts, leur recouvrement, leur focalisation et leur topographie. Les résultats de ce processus sont relayés à l'utilisateur avec une précision inférieure à un micron. Pour assurer des mesures précises, l'outil KLA/TENCOR P 1 utilise la technologie KLA propriétaire True Angle. Cette technologie réduit les erreurs de mesure et améliore la cohérence des résultats en assurant que le plan de mesure est toujours perpendiculaire au plan de la plaquette. L'actif dispose également d'une interface utilisateur graphique intuitive pour guider l'opérateur et simplifier les fonctions de routine. P 1 offre également une gamme complète de fonctions de contrôle et d'acquisition de données. Sa plate-forme intégrée d'intelligence machine (MI) surveille les opérations de test des plaquettes avec des fonctions intégrées de moniteur et de contrôle. La plate-forme MI aide également les opérateurs à résoudre tous les problèmes à n'importe quel stade du processus en temps réel. Dans l'ensemble, TENCOR P1 est un modèle de test et de métrologie de plaquettes puissant, intuitif et efficace. L'équipement fournit des mesures précises et cohérentes qui sont rapidement transférées à l'utilisateur. Sa combinaison de systèmes, de technologies et de caractéristiques en font le choix idéal pour les installations de production à haut volume et sensibles aux coûts.
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