Occasion KLA / TENCOR P10 #293751600 à vendre en France
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KLA/TENCOR P10 est un équipement multifonctionnel d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour améliorer la qualité, la performance et la fiabilité des plaquettes semi-conductrices d'une manière rentable. Le système offre une large gamme de capacités avancées de caractérisation des outils et est utilisé pour inspecter et mesurer les plaquettes de 300mm. L'unité offre un choix de quatre configurations d'outils et est équipée d'algorithmes avancés d'inspection optique haute vitesse, d'ellipsométrie spectroscopique à longueur d'onde accordable automatisée, d'imagerie par défaut 2D et 3D, de reconnaissance de motifs d'intelligence et de contrôle de processus. La machine offre également des capacités de mesure 3D automatisées et de haute précision pour la caractérisation de surface de précision. KLA P-10 dispose d'une chambre scellée pour un contrôle maximal de la température et de l'uniformité. Les configurations d'écoulement laminaire hydrogénées des classes 00 et 100 assurent des essais de plaquettes à haut débit et des performances de métrologie. Un large éventail de capacités d'essai physique et chimique sont soutenues, y compris la photoluminescence, l'imagerie électronique secondaire, la spectroscopie optique d'émission (OES), la spectroscopie photoélectronique à rayons X (XPS) et la microscopie électronique à balayage (SEM). L'outil dispose d'une capacité intelligente de mesure double face, permettant des essais d'échantillons simultanés des deux côtés. Il prend également en charge la préparation et la manipulation automatisées des échantillons, ce qui permet un conditionnement efficace et sans erreur. L'actif comprend des interfaces de bibliothèque pour l'exécution automatique du programme de test et l'acquisition des résultats pour une analyse plus approfondie. Le modèle fournit également un mode Alibi unique qui permet la métrologie et les essais simultanés sans affecter les performances de l'équipement. Les caractéristiques robustes et les accessoires optionnels de TENCOR P 10 le rendent adapté à une grande variété de processus de test automatisés. Il s'intègre également facilement avec d'autres outils et lignes de production existants, permettant un processus de fabrication plus efficace et intégré.
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