Occasion KLA / TENCOR P10 #293806945 à vendre en France

KLA/TENCOR P10 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour diverses applications, y compris le contrôle des processus, l'analyse des défaillances et l'intégration des processus frontaux. Le système utilise une technique optique propriétaire, appelée Contouring Beam Delivery, pour visualiser avec précision et rapidité une surface de plaquette jusqu'au niveau du nanomètre. Il peut détecter les particules, les défauts et les largeurs de ligne avec précision. La technologie d'imagerie de l'unité commence avec un objectif de microscope 20x, et utilise un étage motorisé pour balayer la surface de la plaquette, tandis qu'un gradient de faisceaux laser se déplacent pour correspondre aux contours de l'échantillon. Ceci permet d'observer une représentation rapprochée de la surface réelle, par opposition aux systèmes optiques typiques qui sont limités aux surfaces planes. Le Contouring Beam Delivery améliore également les rapports signal à bruit pour une meilleure précision et un meilleur débit. Cependant, la machine peut collecter plus de données que nécessaire pour le contrôle du processus, permettant des capacités d'évaluation flexibles et une analyse avancée des défaillances lorsque cela est souhaité. KLA P-10 offre une haute résolution qui dépasse la plupart des systèmes optiques, avec une imagerie d'épaisseur de couche de 0,1nm à 1x profondeur de champ et une imagerie de fonction de 0,02nm à 1x profondeur de champ. Il dispose également d'une des meilleures vitesses d'imagerie sur le marché, capable de scanner jusqu'à 800x400 mm du champ de vision synchronisé en moins de 18 secondes. Au-delà de l'optique, TENCOR P10 comprend plusieurs analyses optiques sophistiquées, des analyses de contrôle de processus, des statistiques de niveau de plaquettes et des modules d'analyse de défauts, permettant aux utilisateurs de l'outil d'évaluer les plaquettes rapidement et avec précision. La technologie multi-faisceaux de l'actif offre un accès au bout du doigt aux défauts de chaque plaquette dans les représentations 2D et 3D, ce qui en fait l'un des systèmes les plus fiables et les plus puissants du marché. Un certain nombre d'autres technologies sont également intégrées à l'UCK P 10, y compris la mesure automatisée des dimensions sans contact, la mesure automatisée de la topographie et la détection automatisée/analytique des trous profonds et fiduciaires. Ces fonctionnalités, combinées à ses capacités d'imagerie exceptionnelles, font de TENCOR P-10 une solution idéale pour une variété d'applications de test de plaquettes et de métrologie.