Occasion KLA / TENCOR P10 #293813796 à vendre en France
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KLA/TENCOR P10 Wafer Testing and Metrology Equipment est une solution entièrement intégrée et automatisée pour l'inspection et la mesure des wafers. Ce système combine des techniques d'imagerie avancées, la microscopie électrochimique à balayage (SCEM) et les tests de résistivité, avec une suite complète de processus automatisés, permettant la détection, l'analyse et le signalement précis des défauts. Au cœur de KLA P-10 se trouve la technologie d'imagerie Multi-Beam Velocity Scattering (MVSC). Cette unité utilise un laser pour balayer la surface de la plaquette à grande vitesse, générant une carte haute résolution des caractéristiques, des défauts et des caractéristiques de signature. La machine MVSC détecte également le type de matériau et effectue des essais de résistivité pour identifier la composition de l'échantillon. TENCOR P 10 est également équipé d'un micro-spectromètre, qui permet de mesurer et de caractériser quantitativement les données liées à l'énergie. Le micro-spectromètre aide à l'inspection et à l'imagerie de défauts extrêmement petits, ainsi qu'à caractériser des matériaux à faible réflectivité. En plus de l'imagerie, KLA/TENCOR P 10 dispose d'un outil de microscopie électrochimique à balayage (SCEM). Cet actif utilise un courant électrique à l'échelle du micron pour sonder la structure chimique de la plaquette. En combinant la microscopie électrochimique à balayage avec l'imagerie MVSC - TENCOR P10 est en mesure d'identifier et de caractériser les marques de gravure électrique, les résidus de photorésist et d'autres défauts qui ne sont généralement pas détectés avec les systèmes d'imagerie traditionnels. KLA P10 dispose également d'une suite de processus automatisés, y compris la cartographie des défauts, l'analyse du rendement et l'établissement de rapports. Ces processus automatisés permettent d'inspecter et de mesurer les plaquettes rapidement et précisément, ce qui est particulièrement important pour une industrie où le temps est l'argent. KLA/TENCOR P-10 Wafer Testing and Metrology Model est une solution automatisée révolutionnaire pour le test de wafer et la métrologie. Sa combinaison de technologies de pointe et de procédés automatisés permet de détecter et de caractériser même les plus petits défauts, ce qui entraîne des défauts moins coûteux et un rendement plus élevé.
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