Occasion KLA / TENCOR P10 #9211916 à vendre en France

KLA/TENCOR P10 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe. Le système KLA P-10 est une unité à grande vitesse entièrement automatisée qui est conçue pour inspecter et mesurer toutes les caractéristiques de surface et de défaut des plaquettes. L'application principale d'une machine TENCOR P 10 est la fabrication de plaquettes, où elle est utilisée pour analyser et inspecter les changements de processus pendant le processus de fabrication de plaquettes. L'outil KLA/TENCOR P-10 peut détecter une grande variété de défauts sur les surfaces des plaquettes, y compris des défauts entiers, des particules fines, des rayures de surface et des limites de grains. De plus, le KLA/TENCOR P10 est équipé d'un réseau de micro-miroirs à deux axes qui peut effectuer des mesures critiques sur la surface de la plaquette avec une précision et une précision élevées. KLA P 10 actif est construit en utilisant la dernière technologie de capteur de pression à électrode couplée. La technologie des capteurs de pression à électrodes couplées offre des capacités de profilage ultra-basse force et permet au modèle KLA P10 de mesurer la topographie de la surface de la plaquette avec une précision inférieure à 5nm. L'équipement est également équipé d'un système de détection intégré qui utilise la résolution de 200nm/pixel pour détecter et classer les défauts sur la surface de la plaquette. Cette unité de détection utilise des techniques de post-traitement telles que le contrôle statistique des processus (RCP) pour classer et isoler les défauts aux fins d'analyse. La machine TENCOR P-10 est également capable d'effectuer un certain nombre de tests non destructifs (NDT) sur la surface de la plaquette. Ces essais non destructifs comprennent l'épaisseur des couches minces, la résistivité des feuilles, la gravure humide, le mélange de faisceaux d'ions, la réaction en phase vapeur, l'ellipsométrie et d'autres essais de propriétés de surface. De plus, l'outil peut être utilisé pour effectuer des mesures de contraintes/contraintes, telles que le désencastrement de surface et l'imagerie thermique en temps réel. P10 actif peut également être équipé d'un certain nombre de fonctionnalités facultatives, y compris des systèmes automatisés d'examen des défauts, des errements de processus, la répétabilité die-to-die, et la classification automatisée des défauts. Le modèle est également compatible avec une gamme de systèmes de chargement/déchargement robotiques, ainsi que des systèmes de vision robotique. Les équipements P 10 sont également capables de s'intégrer à d'autres systèmes d'automatisation en usine. Le système d'essai et de métrologie de plaquettes TENCOR P10 est une unité efficace et polyvalente qui convient parfaitement à la fabrication de plaquettes. La technologie avancée des capteurs de pression à électrodes couplées et les capacités de test non destructives de la machine en font le choix idéal pour le développement de processus et la surveillance de la production. L'outil de détection intégré et les systèmes de révision de défaut automatisés font l'actif P-10 que le fait de devoir - a pour toute facilité de fabrication de semi-conducteur.