Occasion KLA / TENCOR P10 #9215072 à vendre en France

L'équipement d'essai et de métrologie KLA/TENCOR P10 est conçu pour fournir le plus haut niveau de précision, de précision et de répétabilité tout au long d'un processus de fabrication. Ce système est conçu pour l'inspection des plaquettes et la métrologie dans un environnement automatisé. KLA P-10 est une unité entièrement automatisée capable de tester chaque plaquette dans un processus donné. Il comprend une machine optique haute performance, une suite logicielle de précision et un outil de manipulation entièrement automatisé qui permet de mesurer rapidement et avec précision les caractéristiques et les défauts des plaquettes entières. Cet atout offre la résolution et la répétabilité les plus élevées et la variabilité la plus faible dans la mesure de l'uniformité, de l'épaisseur et de la largeur des lignes. Le modèle optique haute performance est conçu pour maximiser l'efficacité de l'équipement en fournissant des rapports signal/bruit plus élevés, des niveaux de vitesse et de précision plus élevés et une meilleure intégrité de l'image. L'optique est optimisée pour une variété de plaquettes et de plans, y compris des plaquettes à haut rapport d'aspect avec des lignes aussi fines que 10 nm. La suite logicielle de précision fournit des outils de test de plaquettes flexibles et sophistiqués pour l'ingénierie, la métrologie et le développement de processus. Il comprend des spécifications de wafer basées sur CAO, divers algorithmes pour l'évaluation de la qualité de l'image et la corrélation des résultats de métrologie et de processus. La suite logicielle peut également créer une deuxième carte d'image de la même zone pour la corrélation à des étapes supplémentaires de caractérisation et de traitement. TENCOR P10 est contrôlé par un système de manipulation entièrement automatisé qui offre un placement rapide, précis et répétable des plaquettes sur la scène. Il comprend un contrôle de mouvement fiable, une unité de transfert d'échantillons en boucle fermée et des capacités de manipulation d'échantillons indépendantes. La machine est conçue pour accueillir un large éventail d'applications et d'environnements, de la fabrication sur banc à la fabrication à grande échelle. En tout, l'outil d'essai et de métrologie des plaquettes P 10 est conçu pour fournir le plus haut niveau de précision, de répétabilité et de précision possible dans un environnement d'essai et de métrologie des plaquettes. L'atout optique avancé, la suite logicielle sophistiquée et les capacités d'automatisation se combinent pour créer un modèle qui peut mesurer rapidement et avec précision une variété de paramètres et de défauts de plaquettes.