Occasion KLA / TENCOR P10 #9301230 à vendre en France

KLA/TENCOR P10 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie développé par KLA Corporation. Il est conçu pour des applications avancées d'inspection de plaquettes et de métrologie dans la fabrication de semi-conducteurs. Le système KLA P-10 utilise la technologie brevetée TENCOR Scanning Near-field Optical Microscopy (SNOM) qui permet une mesure métrique précise et une classification par défaut des structures jusqu'à 2 microns. L'unité est capable d'inspecter des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre, et peut détecter avec précision des défauts aussi petits que 10nm. Le composant principal de la machine est sa tête de microscope électronique à balayage rapide (SEM), qui est utilisée pour capturer une image 3D haute résolution de la surface de la plaquette. La tête SEM est reliée à l'unité optique de TENCOR P10, qui fournit la lumière pour le microscope. L'unité d'optique dispose d'illuminateurs et de détecteurs avancés qui permettent l'imagerie sous-surficielle. Les puissants algorithmes d'imagerie utilisés dans l'outil aident à identifier les petits défauts tels que la contamination, la gravure et les dommages. De plus, l'actif est capable de reconnaître des modèles et des modèles d'opérations tels que des bosses, des tranchées et d'autres caractéristiques de métrologie. Le logiciel utilisé dans le modèle permet une large gamme d'outils d'analyse et de mesure qui lui permettent de fournir des informations détaillées sur l'état de la plaquette. Cela comprend l'analyse de la taille des défauts, les mesures de superposition et de dimensionnement, l'analyse topologique, l'analyse des caractéristiques de métrologie et la mesure CD/OCD. De plus, l'équipement semi-automatisé dessine un plan pour l'analyse et l'essai des plaquettes, et permet un fonctionnement facile. Le logiciel convivial inclus dans l'équipement TENCOR P10 permet une configuration et un fonctionnement faciles. Avec le logiciel, les utilisateurs peuvent créer des recettes personnalisées pour l'inspection des plaquettes et la métrologie, et configurer le système pour les besoins spécifiques des clients. En outre, le logiciel offre un ensemble complet d'outils pour la gestion des données, la détection des erreurs et l'analyse. En conclusion, l'unité d'essai et de métrologie des plaquettes P 10 est une solution puissante qui offre une grande précision, vitesse et flexibilité pour l'inspection et la métrologie des plaquettes. Il exploite les puissants algorithmes d'imagerie, les illuminateurs et les détecteurs de la machine pour fournir des métriques et des données précieuses qui sont essentielles au processus de fabrication des semi-conducteurs.