Occasion KLA / TENCOR P10 #9379237 à vendre en France

ID: 9379237
Surface profiler.
KLA/TENCOR P10 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie qui fournit un haut débit, une architecture configurable et des applications avancées pour la fabrication de semi-conducteurs. Il offre une gamme complète d'applications incluant la révision des défauts, la mesure optique de CD, l'alignement de superposition et la mesure de planéité du masque. Grâce à la technologie avancée de balayage et de métrologie, KLA P-10 fournit des mesures rapides et précises des plaquettes. Il dispose d'un système de balayage dédié qui permet des balayages avec une vitesse d'accélération allant jusqu'à 1000 nanomètres par seconde avec une résolution d'amplitude de 5 nanomètres. TENCOR P 10 offre une flexibilité maximale avec des logiciels qui peuvent être adaptés aux besoins individuels des clients et aux critères d'évaluation des processus. Les capacités d'imagerie de l'unité permettent de caractériser en détail les défauts, de mesurer et d'analyser les motifs et de mesurer les températures à travers les plaquettes. Il possède également un large champ de vision et une imagerie tomographique 3D haute résolution, permettant une caractérisation détaillée des défauts. Outre les systèmes de balayage et de métrologie, la machine P10 dispose d'une bibliothèque d'applications préprogrammées qui permettent de surveiller et d'identifier diverses variations de processus telles que le dépôt de particules, les changements de résistivité, l'accumulation de gaz et la variation des caractéristiques. Les applications sophistiquées, conviviales et puissantes analyses de résultats augmentent le rendement et la fiabilité pour les clients. Une caractéristique clé de l'UCK P 10 est son outil intégré de contrôle environnemental qui surveille régulièrement l'environnement de l'actif. Cela aide à prévenir les valeurs aberrantes et les fausses lectures dues aux fluctuations de température et d'humidité. KLA/TENCOR P 10 comprend également une gamme complète de logiciels et d'algorithmes pour l'assurance qualité. Il offre une variété d'outils tels que des méthodes d'analyse statistique, des méthodes d'identification des défauts, des logiciels pour reconnaître les variations de processus et des logiciels pour améliorer la précision des mesures. P-10 modèle est adapté aux applications de R&D et de production en volume. Il est alimenté par le logiciel propriétaire KLA WSA (Wafer Section Analyzer) qui est conçu pour permettre des mesures rapides, précises et répétables des plaquettes. Avec sa gamme étendue de capacités, l'équipement offre la plus grande fiabilité et contrôle de qualité pour les clients.
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