Occasion KLA / TENCOR P10 #9410939 à vendre en France
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ID: 9410939
Taille de la plaquette: 8"
Profilometer / Surface profiler, 8"
M2 XR Rolling stand
Vertical features ranging: 100 A to approximately 300µm
Vertical resolution: 0.5, 2, or 10A
Micro-roughness: 0.5Å (0.002 min.)
Semiconductor wafers
Thin-film heads
Precision-machined and polished surfaces
Ceramics for micro-electronics
Glass for flat panel displays
Optical surfaces.
KLA/TENCOR P10 est un système d'essai et de métrologie de plaquettes conçu spécifiquement pour les fabricants de circuits intégrés à grande échelle (LSIC), d'optoélectronique et de MEMS. KLA P-10 est construit en utilisant des composants robustes et standard de l'industrie et utilise une configuration multi-sondes pour tester chaque plaquette en plusieurs points. Il offre des capacités de métrologie complètes, combinant l'imagerie et les mesures électriques. En outre, il offre une variété de capacités de mesure, telles que la cartographie des dispositifs à transistor et d'autres caractéristiques de surface, l'imagerie à grossissements multiples, la scatterométrie optique active (AOS), les mesures de flux, et les essais électriques I-V. La configuration multi-sondes de TENCOR P10 est souvent avantageuse pour tester des produits dont les composants sont situés dans différentes zones de la plaquette. Avec des points de sonde de chaque côté de la plaquette, ainsi que le long de la circonférence, il permet de tester à plusieurs endroits. TENCOR P-10 offre également aux utilisateurs un choix de sondes en fonction de leur application spécifique, avec des options de sondes entre filets et bords. La capacité à deux positions minimise l'effet du bord des sondes sur les mesures. Les capacités d'imagerie de KLA P 10 comprennent une variété de fonctionnalités, telles que circuits de retard de porte, contacts, caractéristiques, largeur d'isolement, blocages et fuites résiduelles, délamination, contraste de couleur, robustesse de surface, topographie et imagerie transversale. La fonction Optical Wafer Inspect offre également aux utilisateurs une imagerie précise de la forme, de la planéité, de la warpage et de la largeur des lignes. En outre, KLA/TENCOR P-10 est capable de scatterométrie optique active (AOS), permettant aux utilisateurs d'obtenir rapidement des mesures précises sans avoir besoin de définir manuellement des niveaux. KLA/TENCOR P 10 offre également une variété de capacités de test électrique, telles que la caractérisation des transistors (I-V), la modélisation des transistors, les tests d'impédance en courant continu et les tests de fiabilité. Cela permet aux utilisateurs d'analyser rapidement les transistors et de tester leur fiabilité et leurs performances. En outre, le KLA P10 est équipé d'un amplificateur à faible bruit/système à grande vitesse pour tester les dispositifs nanométriques. Ceci permet de détecter avec précision les impulsions, ce qui permet d'obtenir des mesures plus précises. En conclusion, P10 est un système polyvalent d'essai et de métrologie de plaquettes qui offre de nombreuses fonctionnalités aux fabricants de circuits intégrés à grande échelle (LSIC). Il offre des fonctionnalités centrées sur le client telles que la configuration multi-sondes, l'imagerie et les mesures électriques, les mesures de flux, et la scatterométrie optique active (AOS) qui permettent un meilleur contrôle de la qualité et la rétroaction des processus en temps réel.
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