Occasion KLA / TENCOR P11 #130279 à vendre en France
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ID: 130279
Style Vintage: 2001
Long scan profiler
Microhead sr low force measurement head
Force range: 1 to 50 mg
Top and side view optics
Vertical range: 300µm
Motorized X/Y stage
Sample size: 10 x 10" to 14 x 14" with side panel removed
Scan length: 205mm
Scan speed: 1µm/s to 25mm/s
Operating system: Windows
Pentium PC
Stylus
Video camera
2001 vintage.
KLA/TENCOR P11 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour identifier et caractériser les défauts des plaquettes semi-conductrices. Le système est conçu pour fournir une compréhension complète de l'état des plaquettes à l'essai, fournissant des indications sur les causes possibles des défauts et les mesures correctives possibles. L'unité utilise un certain nombre de composants matériels, notamment des systèmes d'inspection optique des plaquettes, des systèmes de mesure des contraintes des plaquettes, des systèmes d'analyse des essais et des défauts et des systèmes de comptage des défauts. Ces composants travaillent ensemble pour identifier et mesurer les défauts sur la plaquette, y compris les anomalies de particules, les anomalies de rugosité de surface, les anomalies du champ électrique, les anomalies de contraintes mécaniques et les résidus chimiques. La machine KLA P-11 comprend un certain nombre d'outils logiciels propriétaires qui permettent l'analyse rapide des données de défaut. Ces outils comprennent la classification des défauts, l'interprétation métrique, la détection d'anomalies et les algorithmes de vision automatique. Ces données peuvent être analysées pour détecter les causes profondes des défauts, donnant aux utilisateurs la possibilité d'apporter des modifications à leurs processus pour les éviter à l'avenir. Avec l'analyse automatisée des défauts, l'outil TENCOR P 11 fournit des services de métrologie, permettant l'analyse des propriétés électriques et géométriques des plaquettes. Ceci peut être utilisé pour détecter des non-uniformités de processus, qui peuvent ensuite être corrigées par des ingénieurs de processus. L'actif TENCOR P11 fournit également des capacités complètes de suivi des processus. Cela permet aux utilisateurs de surveiller leurs processus au fil du temps, d'assurer la cohérence et de prévoir les domaines d'amélioration potentielle. Ces outils fournissent également des corrélations de données dans le temps et entre les wafers, permettant aux utilisateurs de comprendre des flux de processus entiers. En résumé, TENCOR P-11 est un modèle avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir une compréhension complète de l'état des plaquettes semi-conductrices. Il utilise de puissants outils logiciels propriétaires pour détecter et interpréter les défauts, mesurer les propriétés électriques et géométriques et suivre les performances des processus. Cela permet aux utilisateurs de maximiser la performance et le rendement du processus.
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