Occasion KLA / TENCOR P11 #9314006 à vendre en France
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KLA/TENCOR P11 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie qui fournit des mesures géométriques de plaquettes rapides et précises pour le contrôle des processus, la recherche et le développement. Le système permet un tri automatisé et une large gamme de mesures géométriques de la plaquette, y compris des mesures de dimensions critiques (CD) telles que la largeur des lignes et la rugosité des bords de ligne, des mesures de surface telles que la planéité des motifs et l'interférométrie de balayage. Il dispose d'un module optique innovant à grande vitesse, d'un design d'objectif unique, ainsi que d'une unité d'éclairage avancée, lui donnant la capacité d'effectuer des mesures de précision des caractéristiques géométriques les plus complexes. La machine KLA P-11 est très flexible et supporte de multiples applications. Il est conçu pour être modulaire et évolutif, permettant aux clients d'ajouter de nouvelles capacités sans avoir à contacter le fabricant. Il est conçu pour maximiser les mesures par plaquette, fournissant des solutions à haut débit et rentables pour les environnements de recherche et de production. TENCOR P 11 peut être configuré pour accueillir à la fois des écrans plats et des plaquettes jusqu'à 300 mm de diamètre. L'outil est également équipé d'un actif de microscope optique à double faisceau très sophistiqué qui permet la collecte de données telles que la hauteur, la surface, la largeur de ligne et les mesures de dimensions critiques. P11 offre également un axe de hauteur motorisé de haute précision et une étape d'inspection motorisée, permettant un contrôle précis de l'emplacement des mesures et des résultats reproductibles. De plus, le KLA P 11 intègre un modèle d'étalonnage automatique à zéro pour assurer des mesures précises et répétables. En outre, l'équipement dispose d'une bibliothèque embarquée de recettes spécifiques au diamètre qui peuvent être utilisées pour mettre en place rapidement le système de métrologie des plaquettes et prendre des mesures sans avoir besoin d'étalonnage manuel. Dans l'ensemble, TENCOR P-11 est une solution d'essai et de métrologie précise et flexible qui permet des mesures précises et un fonctionnement rentable pour les applications de recherche et de production. Son unité sophistiquée de microscope optique à double faisceau et son étalonnage automatisé assurent des mesures précises, tandis que sa bibliothèque embarquée et ses capacités évolutives lui permettent de rester à la fine pointe pendant de longues périodes.
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