Occasion KLA / TENCOR P12 #293589209 à vendre en France

KLA/TENCOR P12 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour inspecter les plaquettes avec une précision et une précision élevées. Pour réaliser cette tâche, il supporte diverses techniques telles que la microscopie optique, la microscopie acoustique à balayage (SAM), les mesures de recouvrement optique et les mesures de profil de ligne. Le système est composé de trois sous-systèmes à savoir, Optifab, Métrologie et processus d'YieldStar. Le processus Optifab facilite l'inspection automatisée de la topographie de surface de la plaquette, les mesures de rugosité, l'analyse des caractéristiques et l'analyse lithographique des défauts, permettant à l'utilisateur d'identifier les défauts cibles et les sources potentielles de défauts. Il utilise une étape personnalisée pour la précision et la stabilité du mouvement, un diffuseur optique pour l'analyse d'images et des capteurs d'imagerie pour les mesures de topologie haute résolution. L'unité est précise et sensible pour détecter même le plus petit des motifs défectueux sur les surfaces de la plaquette. Le processus de métrologie est chargé de fournir des services de métrologie haute résolution tels que les mesures de profil de ligne, les mesures de robustesse latérale et l'imagerie de trous de contact. Il dispose d'un capteur de génération sans contact, d'un étage de balayage de haute précision et d'une machine optique, pour mesurer la largeur de ligne et le profil de ligne avec une grande précision. L'outil est également équipé pour inspecter les formes d'onde, les angles et la taille et la symétrie des trous de contact, ce qui le rend polyvalent et très précis. Le processus d'YieldStar aide dans le traitement de plus des données capturées des deux processus précédents. Il recueille les données de la plaquette pour l'évaluation du rendement et utilise un algorithme de style tomographie pour la reconnaissance des motifs. L'interface utilisateur permet une analyse statistique personnalisable des entrées de données des processus précédents. KLA P 12 a été conçu pour répondre à la demande croissante des fabricants de semi-conducteurs pour des tests efficaces et précis de leurs plaquettes. Son ensemble complet de fonctionnalités le rend adapté aux environnements de recherche et de production, permettant aux utilisateurs de prendre des décisions plus rapides et plus précises concernant leur processus de fabrication de plaquettes. Avec ses trois sous-systèmes intégrés et sa précision raffinée, TENCOR P-12 est un outil incontournable pour toutes les tâches d'essai et de métrologie des plaquettes.