Occasion KLA / TENCOR P12 #293595755 à vendre en France
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KLA/TENCOR P12 est un équipement d'essai et de métrologie destiné à fournir des mesures précises de la topographie de surface et de la composition chimique des plaques. Ce système a une large gamme de capacités, le rendant adapté à une variété d'applications semi-conductrices et optoélectroniques. KLA P 12 dispose d'une colonne de microscope électronique à balayage (SEM), d'un étage universel et d'un étage vertical. La colonne SEM fournit une imagerie haute résolution pour révéler de beaux détails de la surface de la plaquette. L'étage universel est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre et comporte deux étages, ce qui lui permet d'être positionné pour l'imagerie sous des angles différents. L'étage vertical permet en outre un positionnement fin de la plaquette sous le faisceau d'électrons. TENCOR P-12 comprend une caméra autofocus haute vitesse pour localiser rapidement et avec précision les caractéristiques de surface souhaitées. Cet appareil est connecté à une plate-forme d'imagerie basée sur PC pour l'analyse et l'imagerie 2D et 3D. En outre, l'unité est équipée d'un certain nombre d'accessoires en option, tels qu'une source d'ions, une chambre basse dépression et un détecteur EDX (Energy Dispersive X-Ray), fournissant des capacités d'analyse chimique. KLA/TENCOR P-12 dispose d'une suite complète de métrologie. Son logiciel piloté par menu offre une conception conviviale et est capable de mesures multi-paramètres, y compris : mesure de pente, métrologie CD (dimension critique), étalonnage et alignement des étages x-y, et analyse des défauts. La métrologie CD s'avère particulièrement utile pour assurer la précision et l'uniformité des motifs des plaquettes. La machine est également configurée avec une fonction d'auto-alignement qui aligne facilement plusieurs plaquettes sur l'étage de la plaquette. Dans l'ensemble, l'outil TENCOR P 12 est un choix idéal pour de nombreuses applications semi-conductrices et optoélectroniques qui nécessitent des mesures rapides, précises et détaillées de la surface de la plaquette. Avec ses puissantes capacités d'imagerie et une gamme de fonctions de mesure, il fournit des résultats de pointe dans l'industrie et est un outil fiable pour une utilisation quotidienne.
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