Occasion KLA / TENCOR P12 #293800615 à vendre en France
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KLA/TENCOR P12 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer développé par KLA, leader mondial des solutions de contrôle des processus. Le système permet de mesurer un large éventail de paramètres critiques, y compris la variation des dimensions critiques (CD), la superposition, la planéité petite et grande, la détection des défauts, l'épaisseur des couches minces et plus encore. L'unité est conçue pour un débit, une qualité et une productivité maximales. KLA P 12 utilise une machine confocale laser à rayons X de précision sous-nanométrique combinée à un logiciel avancé de reconnaissance de motifs pour fournir une analyse supérieure. Au cœur de ses capacités de test avancées se trouve un design d'éclairage innovant, qui permet à l'outil de détecter à la fois les caractéristiques réelles de l'appareil et les couches de film. Le réseau de détecteurs multispectraux permet une mesure de haute précision, rapide et non destructive du CD, de la superposition, des films déposés et d'autres caractéristiques. L'actif est équipé d'un étage de plaquettes à 6 axes et d'une grande capacité de plaquettes de 200mm, offrant un débit élevé et un mouvement sans arrêt. L'optique avancée et la conception de l'éclairage fournissent une mesure optimale des caractéristiques jusqu'à des niveaux de sous-microns. TENCOR P-12, fournit plusieurs configurations optiques pour inspecter les tailles et les matériaux des fonctionnalités, ainsi que les paramètres du champ de vision d'inspection (FOV) et la capacité de zoom. Au niveau logiciel, P12 est équipé d'outils puissants d'analyse et de visualisation pour afficher correctement des informations sous forme de différents graphiques et graphiques. Le modèle fournit également un alignement global, une caractéristique qui compense le désalignement entre la filière d'essai et la cible, augmentant ainsi la précision et le débit. P-12 prend également en charge plusieurs configurations de test, permettant aux clients d'optimiser le nombre d'échantillons testés. Le support d'automatisation flexible assure une intégration transparente dans les processus de production existants, et une large gamme d'interfaces de communication permet de multiples méthodes de transfert de données. En résumé, KLA/TENCOR P 12 offre une solution complète de test et de métrologie des plaquettes qui combine une précision, un débit et une flexibilité métrologiques supérieurs pour garantir la plus haute qualité et la productivité dans le processus de fabrication.
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