Occasion KLA / TENCOR P15 #293616961 à vendre en France

KLA/TENCOR P15 est un système avancé d'essai et de métrologie des plaquettes qui permet la mesure et l'analyse de précision des plaquettes utilisées dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il offre une large gamme de capacités pour les mesures de surface des plaquettes et comprend la réflectométrie tridimensionnelle (3D), la diffraction, la scatterométrie, la stéréologie et la topographie de surface. KLA P-15 utilise un faisceau laser de grande puissance pour scanner et analyser la surface de la plaquette. Une fois le balayage terminé, les données sont analysées pour une variété de caractéristiques telles que la structure des grains, l'orientation des cristaux, la texture, l'épaisseur et le dénombrement des crêtes. Il peut également mesurer les dimensions critiques et prendre des mesures sous n'importe quel angle. De plus, le système a la capacité de détecter les variations d'épaisseur des plaquettes, les zones défectueuses et l'analyse d'image à l'échelle de la plaquette. L'outil de réflectométrie 3D de TENCOR P 15 fournit une précision basée sur sa conception innovante fournissant des mesures à haute vitesse et haute résolution qui permettent la métrologie nanométrique des caractéristiques des plaquettes. Ceci est obtenu par l'utilisation d'un faisceau laser de forte puissance qui permet des mesures fines sans ombre, même sur des surfaces texturées au laser. La réflectométrie 3D peut également fournir une analyse simultanée de plusieurs paramètres tels que la texture et la rugosité. La métrologie de diffraction de KLA P 15 permet une meilleure caractérisation optique de la surface de la plaquette. Cela inclut la capacité de déterminer des orientations cristallographiques spécifiques et de déterminer la taille des grains qui est essentielle pour une caractérisation claire de la microstructure de la plaquette. L'outil de scatterométrie, par contre, est utilisé pour mesurer le motif de diffraction des plaquettes. Ceci permet de déterminer avec précision la structure de surface et les épaisseurs de couche de la plaquette. L'outil stéréologique de TENCOR P15 fournit une mesure de haute précision des structures fines. Il utilise l'imagerie haute définition à plusieurs profondeurs de haut en bas pour déterminer la topographie 3D de la plaquette. Ceci peut être utilisé pour mesurer les détails fins des motifs et des structures sur la plaquette qui sont autrement impossibles à détecter avec les techniques de métrologie traditionnelles. KLA/TENCOR P-15 offre également des capacités avancées de mesure de topographie de surface. Cela permet une cartographie détaillée de la topographie de surface sur de grandes surfaces en utilisant une combinaison de techniques confocales et interférométriques et d'imagerie. Le système a la résolution de détecter même les caractéristiques de surface les plus fines et les plus petites. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR P 15 est un outil puissant qui fournit des capacités de mesure et d'analyse avancées et précises pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs et d'autres plaquettes. Sa vaste gamme de capacités en métrologie, son imagerie haute résolution et sa conception innovante en font un outil inestimable pour garantir la qualité et la performance des plaquettes.