Occasion KLA / TENCOR P15 #293645079 à vendre en France

KLA / TENCOR P15
ID: 293645079
Surface profiler.
KLA/TENCOR P15 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe conçu pour assurer le rendement le plus élevé dans la production de systèmes ULSI. KLA P-15 offre une inspection haute performance sans contact des plaquettes pour mesurer rapidement et avec précision les paramètres géométriques et électriques des dispositifs semi-conducteurs. Le TENCOR P 15 dispose d'un scanner pneumatique qui déplace la plaquette sans contact à une vitesse extrêmement élevée, permettant de mesurer simultanément une grande surface de la plaquette. TENCOR P15 utilise un système d'imagerie haute résolution qui capture des images de la surface de la plaquette. L'unité analyse ensuite les images pour mesurer la précision des motifs, la taille et le placement de l'appareil, ainsi que la topographie de surface générale. Il peut également mesurer des caractéristiques électriques telles que la résistance, la capacité et l'inductance des transistors. KLA a intégré des technologies de pointe dans la machine pour assurer le meilleur rendement possible. Par exemple, KLA P15 dispose d'un profilomètre optique haute résolution capable de mesurer des composants aussi petits que 0,02 microns. Il dispose également d'un outil de réduction de tailles laser haute puissance qui permet de sonder avec précision les caractéristiques de petite géométrie sans les endommager. TENCOR P-15 dispose également d'une analyse automatisée des plaquettes capable d'effectuer une analyse visuelle et statistique détaillée des défauts. Il peut détecter des défauts subtils tels que des rayures et des micro-fosses, à raison de 14 400 sites par seconde. En outre, il peut vérifier les paramètres de performance tels que la capacité de processus, la hauteur de bosse de soudure, et la planéité. Ces caractéristiques font de KLA/TENCOR P 15 l'un des systèmes les plus puissants et les plus fiables disponibles. Il est conçu pour satisfaire et dépasser les exigences des environnements de production les plus rigoureux, tout en donnant aux fabricants la confiance que les données d'essai importantes sont recueillies efficacement et avec précision.
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