Occasion KLA / TENCOR P15 #293735654 à vendre en France
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ID: 293735654
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
Surface profiler, 8"
Microhead II SR Stylus measurement head
Vacuum
Pentium III Microprocessor, 733MHz
RAM, 256MB
Motorized X-Y stage
LCD Color monitor, 19"
Voltage: 220V
Frequency: 50Hz
Current: 4A
Scan length: 205mm
Scan speed: ~ 25 mm/sec
Measurement range: 13um / 65um / 327um
Stylus force: 1 ~50mg
Stylus tip (Green): 2um radius
Operating system: Windows NT 4.0
2002 vintage.
KLA/TENCOR P15 est un équipement d'essai de wafer et de métrologie développé par KLA Corporation. Il s'agit d'un système polyvalent entièrement automatisé conçu pour mesurer avec précision les dimensions critiques, la superposition et l'uniformité des dispositifs à semi-conducteurs à haut volume. L'appareil est capable de mesurer des caractéristiques dans une large gamme de tailles et avec une grande précision, ce qui le rend adapté pour les essais de plaquettes optiques et électriques et les applications de métrologie. La machine KLA P-15 utilise un étage grand format, qui peut accueillir une variété de substrats jusqu'à 8 "de taille. Cela garantit un positionnement et un alignement précis de la plaquette pour les essais et les mesures. L'outil est capable de mesurer des caractéristiques sur la plaquette allant de 0.2um à 25um dans la taille. Il est également capable de mesurer une variété de couches, y compris des couches de grille, de contact et d'interconnexion. L'actif TENCOR P 15 comprend une variété d'outils logiciels sophistiqués qui permettent aux opérateurs de mesurer et d'analyser rapidement les composants de la plaquette. Ces outils comprennent un capteur d'imagerie haute résolution à balayage rapide et un étage de pico-positionnement. Le capteur d'imagerie est capable de capturer des images de la plaquette à fort grossissement, tandis que l'étage de pico-positionnement permet un positionnement et un alignement précis de la plaquette pour une mesure précise. Le modèle TENCOR P15 dispose également d'un scatteromètre laser avancé, qui permet de mesurer la superposition et l'uniformité des dispositifs sur la plaquette. Le scatteromètre laser mesure les chevauchements relatifs des dispositifs vers le substrat pour un meilleur contrôle du procédé. De plus, en utilisant cette fonction, l'équipement peut détecter des erreurs de couche et de dépôt sur la plaquette. En plus du scatteromètre laser, le système KLA P15 comprend une variété d'autres capteurs, y compris des capteurs de vision et des capteurs capacitifs. Ces outils sont utilisés pour mesurer une variété de paramètres sur la plaquette, tels que l'homogénéité électrique et l'épaisseur de la couche. Cette information est ensuite utilisée pour créer des rapports complets à des fins d'analyse et d'examen. Dans l'ensemble, P-15 unit est un outil très sophistiqué et facile à utiliser pour tester, mesurer et surveiller rapidement et avec précision les dispositifs semi-conducteurs. Il est équipé d'une variété de fonctionnalités logicielles et matérielles qui permettent aux utilisateurs d'analyser leurs plaquettes avec une grande précision et précision. La machine KLA/TENCOR P-15 est fortement recommandée pour toutes les applications de test et de mesure de dispositifs semi-conducteurs à haut volume.
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