Occasion KLA / TENCOR P15 #9004295 à vendre en France
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ID: 9004295
Taille de la plaquette: 4"-8"
Style Vintage: 2005
Wafer surface inspection system, 4"-8"
P/N: 00151-000
PC Configuration:
CPU: Pentium III-C 650 MHz processor
Memory: 128M
20 GB HDD
1.4MB 3.5” Floppy disk drive
OS: Windows NT 4.0
Application software: Version 6.3
Performance requirement:
Vertical range: 0-300 um
Stylus force: 1-50 mg
Constant stylus force control
Dual view optics (sideview: 95-410x, topview: 115-465x)
Black and white camera
Stylus: 2.0 um radius
2005 vintage.
KLA/TENCOR P15 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu spécifiquement pour le contrôle et le contrôle efficaces du processus de fabrication de divers produits semi-conducteurs. Il s'agit d'un système multi-capteurs qui peut être utilisé pour des applications de métrologie, telles que l'analyse transversale, l'analyse de forme et de surface, ainsi que pour tester les flux de travail. Cette unité offre un large éventail de technologies, allant des microscopes optiques, de l'interférométrie de la lumière blanche et des mesures de stylet aux essais électriques, thermoélectriques et de microscopie acoustique. La machine KLA P-15 offre une combinaison de technologies avancées d'imagerie, de traitement d'image et d'analyse. L'outil peut détecter les caractéristiques physiques des plaquettes, telles que la topographie, l'uniformité et la résistance électrique. Il fournit également un large éventail de paramètres de caractérisation, y compris la taille de la matrice, le pas, la forme et la planéité. TENCOR P 15 est livré avec une multitude de fonctionnalités automatisées qui facilitent la surveillance optimale des processus semi-conducteurs pendant la fabrication. En utilisant ce modèle pour surveiller les plaquettes aux points stratégiques de leur fabrication, les fabricants peuvent prendre des mesures correctives précoces au besoin. L'équipement dispose également d'un système en temps réel pour suivre et ajuster les paramètres des plaquettes afin d'assurer un produit cohérent. L'unité fournit des outils robustes d'acquisition de données, de traitement d'images et d'analyse pour développer l'inspection complexe de fabrication de plaquettes. Il est capable de capturer des images électroniques à partir du microscope et de traiter des données dans des rapports ou des images CAO, ou d'exécuter un algorithme personnalisé pour évaluer le nombre de particules, les taux de gravure, la qualité des bords et le rendement. Cette machine est équipée d'algorithmes de détection de bord et d'algorithmes pour séparer les petites particules des signaux de défaut plus importants. Il peut effectuer des tests de haute vitesse et de précision, fournissant une caractérisation précise et complète des plaquettes. KLA/TENCOR P 15 possède une large gamme de sources d'énergie, y compris la microscopie à force atomique (AFM), la photolithographie et la gravure plasma. L'outil d'acquisition de données supporte différents modes d'image et de caractérisation et fournit des sorties dans des formats standard. Il peut même s'intégrer à d'autres équipements d'essai pour compléter le contrôle du processus. En conclusion, KLA P 15 est un outil de test et de surveillance avancé conçu pour une surveillance efficace et efficiente de la fabrication. Ses caractéristiques robustes et complètes offrent des systèmes complets de caractérisation et de rétroaction pour une meilleure visibilité sur une ligne de production. Ce modèle est extrêmement utile pour minimiser les défauts lors de la fabrication, améliorer le rendement et réduire les coûts et les délais.
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