Occasion KLA / TENCOR P15 #9313370 à vendre en France
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KLA/TENCOR P15 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des données précises de caractérisation de surface et électrique lors de la fabrication de l'appareil. Le système prend en charge divers protocoles de test standard de l'industrie, y compris Wafer Orders Exam (WOE), Finite Element Analysis (FEA) et wafer stress testing. L'unité est basée sur une technologie avancée de détection différentielle à 4 quadrants et utilise une tête de mesure interférométrique à deux canaux pour obtenir des données de surface et électriques de grande précision. La machine est capable de mesurer à la fois les paramètres électriques résolus par points et mesurés par zone, y compris la tension de seuil, la tension de bande plate et la mobilité. Les principales capacités de l'outil comprennent une précision de mesure supérieure, répétabilité, robustesse et haut débit. L'actif est également capable d'effectuer une cartographie des plaquettes en temps réel pour identifier des régions spécifiques sur la plaquette avec des caractéristiques de surface ou électriques non uniformes. Le modèle est construit sur une plate-forme ouverte évolutive et est équipé d'une gamme d'outils spécialisés tels qu'un équipement d'alignement de plaquettes avec commande de mouvement 6-Axis, un microscope optique avancé pour l'alignement et l'inspection des échantillons et un ordinateur puissant pour l'analyse des données et le contrôle logiciel. De plus, il utilise une méthode d'étalonnage automatisée innovante qui élimine les étapes de traitement manuel, améliorant ainsi le temps de disponibilité, les performances et la précision du système. L'unité supporte une large gamme de configurations de tête d'essai et une gamme de tailles de plaquettes incluant 200mm, 300mm et 450mm. Il est conçu pour être conforme aux normes industrielles applicables en matière de sécurité, de performance, d'exactitude, d'environnement et de traçabilité. La machine de test et de métrologie KLA P-15 est un outil important pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et est idéale pour les clients qui ont besoin de mesures de surface et électriques très précises pour les tests de précision des dispositifs.
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