Occasion KLA / TENCOR P16+ #9130068 à vendre en France
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Vendu
ID: 9130068
Taille de la plaquette: 2"-6"
Style Vintage: 2010
Surface Profiler, 2"-6"
Maximum scan length: 80 mm or 200 mm
Laterial resolution1: X = 25 nm, Y = 1 µm
Microhead 5 SR: Vertical range 327 µm
Stylus force 1-50 mg
13 µm, resolution <0.01A
64 µm, resolution <0.04A
327 µm, resolution < 0.20A
Microhead 5 LF: Vertical range 130 µm
Stylus force 0.05-50 mg
6.5 µm, resolution < 0.01 A
26 µm, resolution < 0.02 A
130 µm, resolution < 0.10 A
Microhead 5 XR: Vertical range 1000 pm
Stylus force 0.5 - 50 mg
13 µm, resolution < 0.01 A
130 µm, resolution < 0.08 A
1000 µm, resolution < 0.60 A
Vertical linearity2: ± 0.5% above 2000 A
10 A below 2000 A
Repeatability: 7.5 A or 0.1% (1 s),whichever is greater
Reproducibility: 15.0 A or 0.25% (1 s), whichever is greater
Scan speed3: 2 µm/sec to 25 mm/sec
Sampling rate: 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000 Hz
Stylus control: Electromagnetic force compensation
Stylus: 4 different radii for long-scan
applications—2.0 µm, 5.0 µm,
12.5 µm, 25 µm (coarse). Submicron
radius (0.1 - 0.8 µm) for micro
surface analysis (fine)
Dual view optics (field of view):
Side view: 1750 x 1750 µm
Top view: 1400 by 1040 µm or optional 900 by 650 µm
Camera: Optional digital color camera
Relative humidity : 30 - 40% (non-condensing) recommended
Temperature : 16°-25° C, rate of change ≤2° C/h
Electrical : 90 - 110 V, 50 - 60 Hz
110 - 130V, 50-60 Hz
208 - 260V, 50 - 60 Hz
Power requirements: 430 VA
Vacuum : 500 mm Hg @ 27 liters/min
Floor vibration : ≤250 µ inch/s (6 4 pm/s) RMS, 1-100 Hz
Audio noise : ≤80 dB (C weighting scale)
Laminar airflow : ≤100 ft/min (30 m/min) down blowing recommended
Microprocessor: Pentium®4 2.8 GHz or greater
Operating system : Windows® XP-based operating system
RAM : 1 GB or greater
Disk storage : 80 GB or greater
Removable storage : 3.5 inch, 1.4 MB floppy disk drive DVD/CDRW
Monitor: 17-inch flat panel LCD
Network : PCI ethernet card
2010 vintage.
KLA/TENCOR P16 + est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour les procédés semi-conducteurs de pointe. C'est le produit phare de la famille KLA, offrant des performances de pointe dans l'industrie pour les essais de particules, le contrôle des processus et la métrologie de surface des plaquettes. KLA P 16 + soutient des configurations de gaufrette multiples, en incluant des gaufrettes de 12 pouces et de 8 pouces, aussi bien qu'en soutenant le Non-contact de 3 dimensions de l'Inspection (3D-NC) et le fait de Dresser le portrait 3D Optique (3DOP) les applications. Le système offre des capacités de test avancées pour tous les types de topographies de plaquettes, tels que TSV, pilier Cu et eTOX. Il est conçu pour fournir des mesures précises sur toute la topographie du substrat, les caractéristiques 3D et d'autres paramètres critiques, même pour des exigences de test avancées. L'unité TENCOR P-16 + offre des capacités de test sans contact et sans contact. Il intègre des architectures innovantes et avancées et des technologies brevetées qui réduisent le temps de test des plaquettes et les processus complets de collecte de données. Ces technologies permettent à la machine de comparer efficacement les résultats des essais avec les normes établies basées sur les critères souhaités ou les limites prédéfinies. L'outil peut également détecter des défauts en utilisant des fonctions avancées de détection automatique des défauts basées sur des algorithmes. TENCOR P 16 + dispose d'une interface intuitive et conviviale pour une gestion facile des données et une présentation visuelle des résultats. Il est également livré avec une gamme d'outils logiciels uniques pour l'amélioration de l'efficacité et de la productivité, y compris les outils des tendances, la boîte à outils de fabrication numérique et l'analyse d'image. La boîte à outils complète, combinée à une gamme de fonctionnalités disponibles grâce à des interfaces Web, permet à l'actif d'analyser, visualiser et rapporter rapidement les résultats, ce qui en fait un choix idéal pour la production. En outre, le modèle soutient les capacités de métrologie de pointe de l'industrie, offrant une précision et une répétabilité élevées. Il combine des algorithmes avancés avec un balayage à grande vitesse pour produire des surfaces ultra lisses sur une variété de matériaux de substrat. Il prend également en charge plusieurs applications de métrologie pour toute une gamme d'applications, allant du contrôle avancé des processus à l'analyse des rendements. TENCOR P16 + fournit aux fabricants un outil efficace et économique pour mesurer, analyser et inspecter les appareils. Il offre des performances haut de gamme, avec des capacités d'automatisation basées sur l'intelligence, un ensemble d'outils complet, et des capacités avancées de test de plaquettes et de métrologie. L'équipement est un choix idéal pour les environnements de production à haut volume, et offre la flexibilité et la précision nécessaires pour assurer le rendement et les temps de cycle.
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