Occasion KLA / TENCOR P16+ #9148051 à vendre en France
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ID: 9148051
Surface profiler
Lapping
Measurement method: long-scan contact linear scans
Vertical resolution: 0.2 Å @ 327 μm
Step height repeatability: 6 Å, 100nm step
Profile data points: 4,000,000
Scan length: 80 or 200 mm
Maximum Z range: 1 mm
Stage translation: 240 mm x 240 mm
Sample positioning: motorized <1 μm
Sample stage diameter: 200 mm
Stylus force: 0.05 mg- 50mg
Field of view: 1.0mm - 4.0mm
Scan speed: 2 μm/sec to 25 mm/sec
Relative humidity: 30~40% (non-condensing) recommended
Temperature: 16℃~25℃, rate of change ≤2° C/h
Vacuum: 500 mm Hg @ 27 liters/min
Electrical: 220V, 60Hz, 430VA.
KLA/TENCOR P16 + est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir une métrologie en ligne haute performance et l'inspection des défauts dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système offre des capacités d'outils avancées combinées à une interface utilisateur intuitive pour permettre des résultats de test rapides, cohérents et fiables. KLA P 16 + est une unité de nouvelle génération qui assure l'inspection des wafers multicanaux multicanaux, tant en termes de sensibilité de détection que de débit de données rapide. La machine TENCOR P-16 + fournit une précision et des performances de détection des défauts de plaquettes de pointe. L'outil est équipé de technologies avancées de détection quad-canal qui lui permettent de détecter avec précision les défauts dans les différentes couches de masque et les tailles de défaut. Il dispose d'une résolution latérale nanométrique et fournit des algorithmes de reconnaissance de motifs supérieurs qui permettent la détection et la classification des défauts de haute précision. L'actif permet une reconnaissance rapide et automatique des types de réseaux spatiaux, tels que les DTP, les coins, les scopes et les composants de montage de surface. En plus de la détection des défauts, le modèle TENCOR P16 + offre également des capacités de métrologie en ligne. Il offre une variété de techniques de métrologie sophistiquées, telles que le CD-SEM, la scatterométrie et l'ellipsométrie, pour mesurer les dimensions verticales et latérales et les distorsions à la surface de la plaquette. Il fournit également des mesures CD-SEM à travers le silicium via (TSV), le suivi des défauts et la mise en place de motifs de test sur la plaquette. L'équipement est équipé d'un module de profileur optique avancé qui offre des techniques avancées de diffusion de la lumière et de traitement des images pour des mesures de métrologie rapides et précises. Le système KLA P-16 + est facile à utiliser, fiable et compatible avec divers systèmes d'automatisation. Son interface conviviale permet un fonctionnement facile, avec la possibilité de personnaliser les plans de test et les paramètres pour des applications spécifiques. L'unité offre également des capacités de gestion de données sophistiquées, avec des capacités d'analyse et de communication de données en temps réel. Ses fonctionnalités conviviales aident à rationaliser le processus de fonctionnement et d'inspection, ce qui améliore la productivité et l'assurance de la qualité. Enfin, TENCOR P 16 + est conçu pour la fiabilité, la durabilité et le rapport coût-efficacité. Il offre des conceptions robustes et fiables qui répondent aux normes internationales les plus élevées, ce qui le rend adapté à tous les environnements de production. La machine est construite pour réduire les temps d'arrêt, les réparations coûteuses et les coûts d'entretien, conduisant à une productivité et une rentabilité maximales. En conclusion, P16 + est un outil puissant de test de plaquettes et de métrologie qui offre des capacités d'outils avancées et des performances fiables. Il fournit des capacités de détection de défauts de haute précision et de métrologie en ligne, ce qui le rend adapté à une variété d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. L'actif est conçu pour faciliter l'utilisation, la fiabilité et la rentabilité, ce qui améliore la qualité et la productivité.
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