Occasion KLA / TENCOR P17 #293664880 à vendre en France
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ID: 293664880
Surface profiler
Constant stylus force controller
Microhead 5 SR Measurement head
Vertical range: 0-327 µm
Stylus force: 0.5-50 mg
Scan length: 200 mm
Dual-view optics: Side and top view
Top view objective lens: 1400 x 1040 µm
With auto magnification
Digital camera: 5 Megapixel
Stylus radius: 2.0 µm, 60°
Motorized level and rotation, 8"
Hold-down vacuum sample
PC With LCD Monitor, 23"
Operating system: Windows.
KLA/TENCOR P17 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour mesurer les défauts, les propriétés des dispositifs, la composition et d'autres caractéristiques des plaquettes semi-conductrices utilisées dans la fabrication de dispositifs modernes. Il peut analyser une variété de couches de matériaux en un seul balayage, ce qui permet de détecter rapidement les variations de processus et les défauts. Le système contient des optiques à balayage de plaquettes, des microscopes automatisés et une large gamme de capteurs optoélectroniques et électromagnétiques. L'optique est composée de lasers, de systèmes de lentilles et d'autres éléments optiques qui sont utilisés pour capturer une grande variété de mesures à plusieurs angles et profondeurs sur chaque balayage. Les microscopes automatisés comprennent un étage motorisé à axe z et une caméra haute résolution pour capturer les images haute résolution de la plaquette. KLA P-17 est capable de saisir les informations critiques de chaque analyse pour identifier les caractéristiques détaillées et les structures de la plaquette, fournir des images détaillées montrant les variations locales et des options pour l'analyse à haute résolution des variations d'épaisseur critique et de composition. En combinant les mesures de surface et de point, il donne un aperçu de ce qui se passe sur la plaquette. Les algorithmes avancés de TENCOR P 17 peuvent détecter des problèmes plus tôt dans le processus, offrant aux ingénieurs la possibilité de prendre rapidement des mesures correctives. L'unité peut détecter et mesurer divers types de défauts et de dégradation, tels que l'accumulation d'oxyde, la contamination ou la corrosion, et peut également être utilisée pour mesurer des indicateurs d'intégrité des fils. En outre, TENCOR P-17 peut recueillir des données sur toutes les couches de matériaux d'une plaquette, fournissant des informations complètes sur les défauts et les variations de processus pour une analyse complète. La machine comprend également une base de données intégrée qui permet de stocker et d'analyser efficacement de grandes quantités de données d'inspection. Pour garantir la précision et la fiabilité, le KLA P 17 peut être étalonné à plusieurs reprises à l'aide de normes d'étalonnage NIST. L'outil est un atout entièrement automatisé et peut être intégré dans un large éventail de processus de production, réduisant le temps et les coûts d'essai, et fournissant des résultats très précis et reproductibles. En conclusion, TENCOR P17 est un modèle avancé d'essai et de métrologie de plaquettes capable de détecter divers types de défauts ou de dégradation sur des plaquettes de silicium. Ses capteurs avancés et ses systèmes optiques fournissent aux ingénieurs des informations complètes pour une action corrective rapide et une efficacité améliorée. L'équipement peut être intégré dans les processus de production, réduisant le temps et les coûts d'essai, et fournissant des résultats fiables.
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