Occasion KLA / TENCOR P2 #293676473 à vendre en France
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ID: 293676473
Surface profiler
Step height measurement system
Standard head assembly.
KLA/TENCOR P2 est un équipement modulaire d'essai de plaquettes et de métrologie, construit spécifiquement pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Le système est conçu pour fournir des mesures précises et répétables de divers paramètres sur les plaquettes de silicium en utilisant les dernières techniques de détection laser et d'inspection. L'unité a la capacité d'effectuer de multiples mesures sur des plaquettes individuelles sans contact, tout en préservant l'intégrité de la plaquette. La machine a deux composants principaux : la tête de sonde et le module de métrologie. La tête de sonde se compose de plusieurs capteurs, caméras CCD et sources laser, combinés avec des algorithmes propriétaires pour détecter et mesurer diverses caractéristiques de la plaquette, telles que l'épaisseur, la planéité, la taille, la forme, la réflectivité et les propriétés électriques. Les mesures sont faites à une résolution maximale de 1 nanomètre, et comprennent des mesures du profil de surface et des déformations, de l'uniformité bord-à-bord de la plaquette, et d'éventuels défauts de surface ou contaminations. Le module de métrologie est responsable du traitement et de la gestion des données collectées par la tête de sonde, et de leur sortie dans divers formats. Le module est équipé de capacités d'analyse avancées, telles que le filtrage hiérarchique, l'analyse statistique et l'analyse multivariée. Il est également capable d'accueillir plusieurs utilisateurs et de leur permettre d'accéder et d'interagir avec les données en temps réel. L'outil KLA P-2 est conçu pour être utilisé dans une grande variété d'applications de recherche et industrielles, telles que la métrologie de surface, le profilage topographique, la métrologie assistée par image et l'inspection des plaquettes. Il s'agit d'une plate-forme polyvalente, économique et fiable pour la validation et la caractérisation des plaquettes de haute précision, ainsi que pour tester et produire des plaquettes de qualité. Il s'agit donc d'un composant indispensable du procédé de fabrication des semi-conducteurs.
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