Occasion KLA / TENCOR P2 #9100966 à vendre en France
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KLA/TENCOR P2 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes utilisé pour évaluer les propriétés électriques des plaquettes dans le processus de production des semi-conducteurs. Le système se compose d'un porte-échantillon, d'une tête d'essai, d'un sous-système d'éclairage, d'un sous-système de métrologie, d'une interface logicielle et d'un module d'acquisition et d'analyse des données. Le porte-échantillon fixe la plaquette sur l'équipement et la maintient en place pendant les essais. La tête d'essai est le lieu où se produit le processus d'essai électrique. La tête de test contient une alimentation intégrée, un processeur de signal numérique et un ensemble de sondes de plaquettes. L'alimentation permet aux sondes de délivrer un signal électrique prédéterminé à la plaquette. Le processeur de signal numérique est utilisé pour modifier le signal en réponse aux données recueillies lors du processus de test. Le sous-système d'éclairage fournit l'éclairage nécessaire au processus d'imagerie. Il est composé de sources lumineuses et de lentilles qui fournissent un éclairage uniforme de la plaquette. Le sous-système de métrologie comprend le dispositif d'imagerie qui capture les images de la plaquette. Il peut être configuré pour fournir des images agrandies ou en temps réel de la surface de la plaquette, et il peut également mesurer des propriétés électriques telles que la résistance, la capacité et la tension de claquage. L'interface logicielle permet à l'utilisateur de contrôler les paramètres de l'unité et de stocker les données collectées pour le post-traitement. Il est utilisé pour configurer les paramètres de mesure et de contrôle de la machine, initier la séquence de test et gérer l'acquisition et l'analyse de données. Le module d'acquisition et d'analyse des données est utilisé pour traiter les données brutes recueillies à partir du processus d'essai de la plaquette et pour produire des rapports avec une analyse détaillée des résultats. Enfin, KLA P-2 comprend une série d'outils de diagnostic pour s'assurer que tous les résultats sont exacts et fiables. Il s'agit notamment d'un outil de détection des défauts et des anomalies, d'un actif d'assurance de la qualité et d'un modèle d'analyse du rendement pour optimiser le processus de production. Dans l'ensemble, TENCOR P 2 fournit une solution complète pour l'essai de plaquettes et la métrologie. Il offre des performances, une précision et une fiabilité supérieures pour assurer un contrôle efficace et fiable des processus de production.
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