Occasion KLA / TENCOR P2 #9183261 à vendre en France
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ID: 9183261
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1992
Surface profiler, 6"
Step height: 500 Å to 80 µm
Scan length: 0.01 mm to 160 mm
Stylus radius: 12.5 µm
1992 vintage.
KLA/TENCOR P2 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour mesurer, identifier et suivre les propriétés physiques des plaquettes semi-conductrices utilisées dans la fabrication de circuits intégrés. Le système combine des technologies de pointe d'optique, de puissance et de rayons X pour fournir des capacités de détection et de métrologie de sous-microns. KLA P-2 comprend un module d'inspection des plaquettes optiques, une station de métrologie de puissance, une station de diffraction des rayons X et une station d'imagerie. La machine optique utilise des technologies d'inspection laser et de champ lumineux pour mesurer les caractéristiques des plaquettes. Cette technologie permet de détecter les défauts des minuscules tels que les fosses, les fissures, les particules et les écarts de géométrie. Il est également capable d'identifier de très petites caractéristiques dans la plaquette, telles que la largeur de ligne et les variations de dimension ligne-espace. La station de métrologie de puissance utilise des tests automatiques et le balayage de contact pour mesurer la dissipation de puissance dans l'appareil. Ceci est important pour s'assurer que le dispositif fonctionne comme prévu et que les puces ne surchauffent pas. La station de diffraction des rayons X analyse les propriétés matérielles de la plaquette afin de mesurer les changements dans le réseau cristallin et la contrainte au sein des plaquettes individuelles. La station d'imagerie capture efficacement les images de surface descendante de la plaquette et utilise l'image pour mesurer différents paramètres tels que le contraste, la clarté, la focalisation, la résolution et plus encore. Ces images sont utilisées pour identifier avec précision les défauts et s'assurer que l'appareil est conforme aux spécifications. L'outil TENCOR P 2 utilise également une suite d'analyse de données pour stocker, organiser et comparer les résultats d'inspection de chaque plaquette. KLA P 2 offre un ensemble complet de capacités de métrologie et d'inspection des défauts pour les plaquettes semi-conductrices. Il permet aux fabricants de se faire une idée de la qualité de leurs plaquettes et de leurs produits et de s'assurer que les plaquettes et les puces répondent aux spécifications souhaitées.
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