Occasion KLA / TENCOR P2 #9291906 à vendre en France
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KLA/TENCOR P2 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour les mesures de bord et de centre de plaquettes. Itprovide les utilisateurs avec une solution automatisée pour le traitement de l'information de métrologie, comme l'inspection de la surface des plaquettes, l'analyse des défauts des plaquettes, les mesures de forme des plaquettes et la vérification des matériaux des plaquettes. Le système utilise une unité avancée de détection de bord de plaquette basée sur laser, la technologie avancée de métrologie de plaquette (AWM), pour surveiller avec précision la position de bord de plaquette, détecter les écarts de forme ou de géométrie et quantifier les changements dans les caractéristiques de bord de la plaquette. Il intègre également la technologie avancée de métrologie des sources lumineuses pour inspecter et mesurer la topographie de surface de la plaquette. Dans le cadre de la machine, un laser infrarouge et une caméra d'imagerie sont utilisés pour identifier les variations dans la composition des matériaux de surface et détecter les défauts tels que les rayures et les défauts de surface. Parmi les autres renseignements de métrologie tirés de l'outil, mentionnons les données de contrôle des processus des lignes métalliques et des profils 3D, les renseignements sur la propreté des plaquettes, les mesures de la planéité des plaquettes, la cartographie des caractéristiques de la surface et l'inspection de la rugosité de la surface. Cela permet aux utilisateurs d'obtenir un ensemble complet de données sur le processus de fabrication des plaquettes, y compris ses performances de rendement. En plus de la détection des défauts de surface, l'actif intègre également une gamme d'autres algorithmes pour mesurer la forme des plaquettes en trois dimensions. Cela permet aux utilisateurs de quantifier avec précision les différences de forme et de dimensions des plaquettes, et de générer des données métriques à partir des plaquettes mesurées, telles que la planéité, la déformation des bords des plaquettes, ainsi que la section transversale. Le modèle bénéficie également d'une interface graphique intégrée pour visualiser les mesures en temps réel. Cela permet aux utilisateurs de visualiser rapidement les données de test actuelles ainsi que de passer en revue les données passées et d'avoir un aperçu complet des performances de l'équipement. Le système est également compatible avec différents formats de sortie de données, permettant un partage de données facile et la collaboration entre les différentes machines. En conclusion, KLA P-2 est une unité avancée de test et de métrologie des plaquettes, offrant aux utilisateurs une solution conviviale et automatisée pour contrôler avec précision la surface et la forme des plaquettes ainsi que les données de contrôle des processus. Il offre un aperçu inestimable de l'état actuel des processus de fabrication des plaquettes, aidant les utilisateurs à réduire les défauts et à assurer le contrôle de la qualité.
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