Occasion KLA / TENCOR P2 #9402153 à vendre en France
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KLA/TENCOR P2 est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie qui est utilisé pour l'inspection des dispositifs et circuits semi-conducteurs. Il offre une gamme de fonctions intégrées pour la surveillance des échantillons en ligne, la classification, l'analyse des défaillances et l'isolement des défauts. Le système utilise diverses techniques optiques, électriques et optothermiques pour inspecter et caractériser les plaquettes. Il se compose de deux composantes principales : le sous-système Wafer Analyzer et Wafer Level Metrology (WLM). Le Wafer Analyzer analyse chaque zone séquentiellement et recueille les données électriques utilisées pour identifier les défauts, tandis que le sous-système WLM intègre les informations optiques et électriques utilisées pour caractériser, mesurer et vérifier les propriétés structurelles et les performances électriques de chaque appareil. Pour les essais et la caractérisation électriques, l'unité utilise une technique d'imagerie spectrale qui mesure la résistance, la capacité et d'autres paramètres du dispositif avec une précision et une résolution élevées. Les capacités de caractérisation électrique fournissent des capacités puissantes d'isolation des pannes et d'analyse des pannes pour les appareils. Le sous-système WLM intègre les informations de test optique et électrique dans une plate-forme unique. Cela permet à la machine de mesurer plusieurs aspects de la plaquette en un seul balayage et d'améliorer la précision des caractérisations des appareils. Pour l'analyse des défaillances et l'isolement des défauts, l'outil utilise plusieurs techniques d'imagerie, dont le champ lumineux, le champ sombre et l'imagerie spectrale. L'actif est également équipé de capacités de test de résistance pour simuler des conditions réelles et identifier avec précision les dispositifs défaillants dans des conditions variables. KLA P-2 est conçu pour surveiller et caractériser rapidement et avec précision les plaquettes dans l'environnement de production des semi-conducteurs. Il fournit une solution de haute qualité et rentable pour les fabricants qui nécessitent une caractérisation des dispositifs haute fidélité, l'isolation des défauts et l'analyse des défaillances. Il permet d'accélérer le processus de production et d'améliorer les rendements de production.
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