Occasion KLA / TENCOR P2H #9093855 à vendre en France
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ID: 9093855
Long scan profiler, 254 x 254 mm
Measures: Roughness, Waviness, Topography (TIR, Height, Average height)
Scan length: 210 mm
Scan speed: 1 um/sec to 25 mm/s
Scan method: moving stage, stationary stylus
Stylus control:
Programmable force: 1-100 mg ± 0.1 mg
Full retract between scans
Programmable descent rate
Measurement control:
Manual / Single scan mode
Keylock with (3) modes
Repeat and average mode
Automatic sequence mode
Sample handling:
Motorized XY
Max sample size: 254 x 253 mm
Sampling rate: 50, 100, 200/s nominal
Vertical range: ±6.5 um at 1A resolution, ±150 um at 25A resolution
Vertical linearity, entire range: ±0.5%
Horizontal resolution: 0.01 um at 1 um/sec scan speed
Step height repeatability:
13 um range: 0.001 um (10A) max standard deviation
300 um range: 0.005 um (50A) max standard deviation
Base line stability:
Time: 0.02 um (200A) max TIR for a 100-s scan
Distance: 0.2 um (2000A) max TIR on a profile length of 130 um verified on a 1/20 optical flat
Data storage:
HD: 40 MB
Diskette: 1.4 MB on 3.5" Disk
DOS operating system
Tencor P-2 Program
Recipes
Data Analysis:
Interactive graph
Delta Average mode
Zoom box data expansion
Data catalog
Database manager option
Metric or English units.
KLA/TENCOR P2H est un équipement d'essai et de métrologie de wafer entièrement intégré et à la fine pointe de la technologie conçu pour dépasser les spécifications et les exigences les plus strictes de l'industrie. Il est capable de recevoir des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre, tandis que son logiciel d'automatisation avancé et ses sous-systèmes indépendants en font une solution idéale pour les laboratoires et fabs produisant des technologies de dispositifs multiples. Le système est piloté par quatre composantes : l'unité d'acquisition de données (DAS), la machine d'inspection (IS), l'outil de métrologie et l'actif de mesure total (TMS). Le DAS est un modèle automatisé de collecte de données qui capture les paramètres de performance et les sorties de test des dispositifs semi-conducteurs et des interfaces avec les autres composants de l'équipement. Le SI est un système d'inspection automatisé puissant qui permet une analyse et une caractérisation rapides et conformes aux spécifications des appareils testés. Il propose également diverses évaluations d'images comme la détection, la classification, la mesure, la reconnaissance de motifs et la colorisation. L'unité de métrologie est une solution complète de métrologie pour la mesure des dimensions des appareils, les paramètres électriques, la caractérisation des défauts et l'analyse des défaillances. Il offre des capacités analytiques avancées pour mesurer avec précision une grande variété de paramètres et d'attributs matériels. Le TMS permet une gestion complète des données collectées par les différents sous-systèmes et permet aux utilisateurs d'évaluer rapidement la qualité des plaquettes et les caractéristiques globales des dispositifs. KLA P-2H dispose de la technologie de test de plaquettes la plus récente, avec du matériel, des logiciels et des systèmes intégrés conçus pour maximiser la précision et la répétabilité, et assurer une productivité maximale. Tous les systèmes sont intégrés dans un format optimisé, augmentant la vitesse et la précision de l'acquisition et de l'analyse des données, tout en réduisant le temps de cycle global. Il est également équipé de méthodes de pointe pour la détection des défauts de qualité, de techniques d'auto-réglage pour des résultats optimaux et de processus statistiques de contrôle de la qualité pour garantir des résultats fiables. En outre, la machine TENCOR P 2H est conçue pour être conviviale, avec une interface graphique intuitive, un contrôle complet des différents sous-systèmes et composants, ainsi qu'un dispositif de surveillance en direct pour afficher les progrès de performance. Des contrôles de sécurité et des protocoles de protection des données sont également en place pour un fonctionnement sûr et sécurisé. TENCOR P 2 H est un outil adapté à la fois pour le prototypage et les environnements de test des plaquettes de production à haut volume, offrant un maximum de performance, de répétabilité et de fiabilité. Avec sa gamme complète de capacités de métrologie et d'analyse d'image, sa conception facile à utiliser et sa capacité à réduire considérablement le temps de fabrication, il est un outil idéal pour tout laboratoire ou fab de semi-conducteurs moderne.
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