Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #163303 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est une plate-forme de haute précision pour le test automatisé des plaquettes et la métrologie. L'équipement KLA 6200 Surfscan permet la mesure automatisée en temps réel de la topographie, de l'épaisseur des couches minces et des défauts des plaquettes et substrats semi-conducteurs. Le système TENCOR 6200 Surfscan est équipé d'un capteur CCD avancé qui permet de capturer des images topographiques 3D précises d'une plaquette à semi-conducteur. Il peut mesurer la topographie des échantillons pour des mesures précises de l'épaisseur des couches minces et la caractérisation des défauts. Le contrôle précis de la tête de balayage et des algorithmes logiciels assure des mesures précises et fiables. PROMETRIX 6200 Surfscan est capable de mesurer diverses structures et couches de plaquettes, y compris des vias métalliques, des interconnexions à grand pas et d'autres structures complexes avec un champ de balayage maximal de 13mm. L'outil est également capable de mesurer les caractéristiques dépendantes de la longueur d'onde des films minces avec une portée maximale mesurée de 50nm - 10mm. De plus, l'actif 6200 Surfscan dispose d'une bibliothèque automatisée d'analyse des défauts qui peut détecter des défauts complexes tels que des dislocations, des défauts d'empilement et des boucles de filetage. Le logiciel peut rapidement identifier et classer les défauts, permettant aux utilisateurs d'analyser rapidement la structure de défaut de la plaquette. En outre, le modèle KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est conçu pour effectuer une caractérisation en ligne des plaquettes en temps réel, ce qui permet de détecter et de classer rapidement les changements subtils de la structure des plaquettes. Il dispose également d'un équipement d'éclairage de champ équilibré intégré avec un étage haute résolution pour assurer la précision et la précision de chaque balayage. Enfin, avec une vitesse de balayage de 3nm/sec, le système KLA 6200 Surfscan offre un débit élevé pour le test automatique des plaquettes et la métrologie. Il dispose d'une gamme d'options d'automatisation qui peuvent réduire le temps et la complexité impliqués dans la caractérisation des plaquettes, ce qui en fait un choix idéal pour les processus semi-conducteurs qui nécessitent des mesures très précises.