Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078054 à vendre en France
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est un système de test et de métrologie de plaquettes haute performance conçu pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Le Surfscan 6200 peut mesurer avec précision tous les paramètres critiques des plaquettes, y compris la planéité de surface, les dimensions critiques, l'enregistrement de superposition et la taille des fonctionnalités. Le cœur du système est le capteur OpticsairTM exclusif primé, qui fournit une sensibilité supérieure et une gamme dynamique rapide sur les autres systèmes comparables sur le marché. Il dispose d'une conception optique unique à tige creuse, qui réduit les vibrations et améliore la précision d'échantillonnage en réduisant considérablement le plancher sonore. Le capteur OpticsairTM peut mesurer toutes les formes de défauts de surface, ainsi que pouvoir caractériser la taille et la forme des caractéristiques. Le 6200 dispose d'une grande variété d'options d'amélioration des performances, y compris un processeur d'imagerie et de mesure (IMP) avec des capacités de cartographie et d'analyse série avancées, une tête de mesure Accu-Centric de pointe pour des mesures CD précises, et un module de suivi automatisé des plaquettes avec contrôle de position série complet. Le 6200 permet également aux utilisateurs d'intégrer jusqu'à quatre étages de plaquettes indépendants, ce qui permet une grande flexibilité lors de la mesure de différentes tailles de plaquettes. Le Surfscan 6200 peut également être relié à d'autres équipements, tels que les systèmes RCP et les manipulateurs automatisés, pour la reconnaissance, l'analyse et la réparation systématiques des défauts. En plus des capacités de test standard des plaquettes, la 6200 offre également un ciblage de performance avancé pour le contrôle des processus, un module de contrôle de traitement automatisé (APC) pour une meilleure surveillance des performances, et peut être intégrée aux outils de métrologie et d'analyse. En résumé, KLA 6200 Surfscan est un système de test et de métrologie avancé qui offre une vitesse, une précision et une flexibilité inégalées. Il est idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à réduire les délais de commercialisation, à améliorer la cohérence des processus et à réduire les coûts des plaquettes.
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